在真空鍍膜機腔體內，真空計測量是一項關鍵技術，它涉及使用專為這一目的設計的儀器和裝置，即真空計，來測定特定空間內的真空度。真空測量分為***真空計和相對真空計。***真空計直接測量物理參數以確定氣體壓強，如U型壓力計和壓縮式真空計，它們不受氣體成分影響，測量準確度高，但在極低氣體壓強下直接測量變得困難。相對真空計則通過測量與壓強相關的物理量，再與***真空計對比得出壓強值，如放電真空計、熱傳導真空計和電離真空計等。這類真空計的測量準確度稍遜于***真空計，且結果可能受氣體種類影響。在實際應用中，特別是在非校準場合，相對真空計更為常見。為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，控制寄生現象。給出一些真空計的壓力測量范圍。工廠真空計加盟

技術參數播報編輯根據2012年發布的ZDF-1A/B型說明書，熱偶真空計、熱陰極電離真空計及金屬電阻規三種測量通道組合構成，覆蓋105~10-6Pa的真空范圍測量，主要技術指標包括 [1]：熱偶規測量范圍：3.0×102~1.0×10?1Pa（ZJ-54D型）電離規測量范圍：5~1.0×10??Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10??Pa（ZJ-10型）發射電流調節范圍：50μA至5mA陽極電壓：225V（ZDF-1A型）繼電器觸點容量：220V AC/3A。使用復合真空計需遵循特定操作要求 [1]：真空系統放氣前必須切換至熱偶計或電阻規通道，防止電離規管暴露于高壓空氣電離規燈絲只能在壓強低于1Pa時啟動，避免氧化燒毀定期校準熱偶規加熱電流，標準值為95-105mA（具體數值依據規管型號）安裝時電離規管軸線應與地面垂直，傾斜角度不得超過30°工廠真空計加盟真空計是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化氣壓的測量。在科研和工業生產中使用。

    可以看出雖然我們已經抽到了超高真空，但是腔體內的分子數還是很多很多，這就是為什么我們要在超高真空條件下進行實驗的原因。講了這么多，不知道你有沒有想過，我們是如何知道腔體內的真空度有多高的呢？度量真空的儀器——真空計是的，就像我們有溫度計和濕度計一樣，我們也有測量真空度的儀器——真空計。我們已經知道，真空度的高低是用壓強大小來衡量的，因此，真空計也是通過測量壓強的大小來反映真空度的。真空計根據其工作原理大致可以分為兩類：一類直接測量壓強的大小，稱為***真空計，例如U型真空計、壓縮式真空計；一類是通過測量與壓強有關的物理量，間接標定壓強的數值，稱為相對真空計，例如熱傳導真空計、電離真空計。在實驗室常用的一般是相對真空計。

    冷陰極真空計（ColdCathodeGauge，如潘寧計）原理：基于高壓電場與磁場協同作用下的氣體放電效應。結構包含兩個陰極和一個陽極，外加軸向磁場。高壓電場使陰極發射電子，電子在磁場中螺旋運動，增加與氣體分子的碰撞概率，導致電離。電離產生的正離子被陰極捕獲，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。特點：量程：通常為10?6Torr至10?3Torr，適合中高真空。優點：無加熱元件，結構簡單、壽命長。對振動不敏感（適合航天等惡劣環境）。局限性：低真空下響應慢（需足夠殘余氣體維持放電）。測量結果可能受磁場均勻性影響。本質區別總結類型**物理效應信號來源適用量程對氣體種類敏感性皮拉尼計熱傳導效應金屬絲電阻變化低真空至中真空高（需校準）熱陰極電離計氣體電離效應離子電流高真空至超高真空低（可忽略）冷陰極計（潘寧）高壓電場+磁場放電效應離子電流中高真空低。 真空計用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓，是一種使用的儀表。

真空計與壓強的關系為，真空度越高，壓強越小；真空度越低，壓強越大。正因為此，真空度的單位用的是壓強單位。一個標準大氣壓用帕斯卡（Pa）表示為1atm=1.013×105Pa這樣我們就得到不同真空單位之間的換算關系。有了單位，我們就可以對真空度進行劃分。國際上沒有統一的劃分標準，常用的劃分是這樣的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了這個標準，我們上面提到的針管中的真空以及托里拆利實驗中的真空就都屬于粗真空的范疇了。那么實驗室里常用的超高真空狀態是怎么實現的呢？這就涉及到了我們的**內容——真空泵。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。服務真空計執行標準

零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。工廠真空計加盟

    真空計用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓，是一種使用***的儀表。真空計的種類有很多，適用范圍也各有不同。掌握常見的真空計種類有利于正確選擇真空計類型。真空計可分為***真空計和相對真空計兩大類。一、***真空計能從液柱高度、比重等本身測得的物理量直接計算出氣體壓力的真空計。***真空計測量精度較高，主要用作基準量具。原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端與待測壓力的真空容器相連，另一端是封死的或開口與大氣相通。根據兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統的壓力。測量范圍：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)2.壓縮式真空計(麥克勞真空計)原理：把待測壓強氣體的一部分進行隔離并加以壓縮，直到壓強增大到可以直接測量的程度。 工廠真空計加盟