TOYO直線電機型號說明以LFT2-RHS2-N-4688-LS10-R-N-05H-LC100-A001為例LTF2：指的是本體型號RHS2：指的是本體固定方式及線槽出線方向。（有多種線槽與出線方式，具體參考TOYO直線電機型錄，一般建議線槽自己配。）N：指的是動子數量（N：單動子；D：雙動子）4688：指的是行程，不同動子的有效行程不一樣。LS10：指的是編碼器（標配是1μ光學尺或1μ磁性尺-TS10）R：指的是原點位置（L/R）N：指的是感應器數量05H：05表示驅動器的線長，H指的是霍爾線LC100：指的是驅動器（可配高創、三菱、松下、臺達等）A001：特注碼TOYO直線電機可定制行程、動子數量、精度。面板行業TOYO機器人千級無塵

什么是氣浮平臺？氣浮平臺，又稱空氣軸承平臺或氣浮運動平臺，是一種利用壓縮空氣在移動部件（平臺）和固定底座（導軌或平臺基座）之間形成一層極薄（通常為幾微米到十幾微米）氣膜的精密設備。這層氣膜使得平臺能夠以非接觸的方式懸浮起來，從而實現近乎無摩擦的直線或平面運動。它是實現納米級、亞納米級運動精度和定位的關鍵技術。TOYO奈米級空氣軸承平臺分為空氣軸承單軸平臺、空氣軸承龍門雙驅平臺、空氣軸承XYZ平臺、空氣軸承XYZθ平臺。半導體行業TOYO機器人小體積模組TOYO機器人獲日本工業機器人協會金獎。

XC100驅動器介紹TOYOXC100驅動器為DGTH/DGTY/DM/DNT系列電動缸驅動器。支持IO控制、RS485控制、脈波控制（電動夾爪除外）、EtherCAT控制（TC100E）。XC100保修期：（保修期以先到達者為準。①本公司出貨后18個月、②交貨至指定場所后12個月。XC100保修范圍：上述期限內，正常使用狀態下發生的故障，且明顯因制造方的責任引起故障的，則無償提供修理。但符合下列情形之一的，不在保修范圍之內。①顏色的自然退色等隨時間變化的情況；②因耗材的使用損耗引起的情況；③機械上無影響的聲音等感覺性現象；④因使用者使用不當及錯誤使用引起的情況；⑤因維護檢查疏忽或錯誤引起的情況；⑥使用非本公司質量配件引起的情況；⑦未經本公司及本公司經銷商同意擅自進行改造；⑧自然災害、事故及火災等引起的情況。

XC100驅動器的特點支持IO控制、RS485控制、脈沖控制使用XC100驅動器時需搭配軟件TOYO-Single使用，可以通過該軟件控制軸運動、修改參數、設置點位、監控信號/數據。XC100驅動器支持不外接傳感器的情況下實現回零操作（通過扭力判斷是否到達原點），同時輸出回原完成信號。XC100驅動器可以通過軟件設置行程軟限位，限位到達會有限位報警（無法判斷正限位/負限位）。XC100驅動器輸入點位有14個，輸出點位有10個，只支持NPN接線方式。XC100驅動器編碼器為增量式，斷電位置會丟失，每次斷電重啟需回原操作。XC100可實現扭力控制，動作時達到設定的扭力即動作完成。XC100支持集電極控制與差分控制，集電極控制容易受干擾，建議使用差分控制。TOYO機器人重復定位精度達±0.02mm。

TOYO直線電機分類：有鐵芯平板型直線電機、無鐵芯U型直線電機、軸棒型直線電機。有鐵芯平板型直線電機分為：G系列與一般系列；G系列：速度可達：2500mm/s，水平負載：3-20KG，行程可達：2520mm，精度：±1~2μ。一般系列：速度可達：2500mm/s，水平負載：20-120KG，行程可達：8000mm，精度：±1~2μ。無鐵芯U型直線電機：速度可達：2500mm/s，水平負載：4-15KG，行程可達：1290mm，精度：±1~2μ。軸棒型直線電機：速度可達：2500mm/s，水平負載：15-51KG，行程可達：1940mm，精度：±1~2μ。TOYO直線電機精度高、速度快！多軸模組系列TOYO機器人集中注油

TOYO機器人具備先進技術，操作靈活，為企業帶來智能化生產變革。面板行業TOYO機器人千級無塵

直線電機的應用檢測與測試：①自動檢測設備：直線電機用于自動檢測設備中的晶圓或芯片搬運和定位，以進行視覺檢測或電氣測試。②測試探針臺：在測試探針臺中，直線電機用于精確控制探針的位置，對芯片進行功能和性能測試。物料搬運：①晶圓搬運：直線電機用于晶圓搬運機器人，實現晶圓在各個工藝步驟之間的快速、精確搬運。②自動化倉儲：在半導體材料的自動化倉儲系統中，直線電機用于物料的快速存取。精密加工：①微細加工：直線電機用于半導體設備的微細加工過程，如鉆孔、研磨等，實現高精度的加工。直線電機在半導體行業的應用，不僅提高了生產效率和產品良率，還降低了制造成本，提升了半導體制造過程的自動化和智能化水平。隨著半導體工藝的不斷進步，直線電機的應用將更加重要。面板行業TOYO機器人千級無塵