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氣體質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對于氣體的質量流量進行精密丈量和控制;氣體質量流量計(MassFlowMeter縮寫為MFM)用于對于氣體的質量流量進行精密丈量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管丈量景象形象色譜儀，光導纖維制造設備中。并***用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。1、結構MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成，只能對氣體質量流量進行丈量;在MFM基礎上加上調節閥構成MFC，既可以對氣體質量流量進行丈量，也能對流量進行控制。

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