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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-23

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因?yàn)榛旌闲Ч苯雨P(guān)系到化學(xué)反應(yīng)速率和晶圓拋光速率;混合過(guò)程中的任何缺陷都會(huì)對(duì)可制造性和可靠性產(chǎn)生負(fù)面影響。盡管制造點(diǎn)(POM)的漿料控制很嚴(yán)格,但后續(xù)過(guò)程(包括運(yùn)輸、處理和過(guò)濾)會(huì)影響化學(xué)特性,因此需要對(duì)漿料進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè),直到抵達(dá)使用點(diǎn)(POU)為止,以確保實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。這樣就需要有效、快速、可靠、準(zhǔn)確且經(jīng)濟(jì)高效的計(jì)量工具和方法,因此許多制造廠選擇使用折光儀。如何借助折射率測(cè)量技術(shù)來(lái)提高生產(chǎn)質(zhì)量折射率(RI)測(cè)量技術(shù)是一種不消耗漿料的連續(xù)在線測(cè)量方法,可幫助制造廠在傳遞工藝相關(guān)的實(shí)時(shí)信息時(shí)迅速識(shí)別出漿料成分錯(cuò)誤,從而減少存在風(fēng)險(xiǎn)的晶圓數(shù)量。CMP漿料攜帶納米顆粒,其固體含量為1-30%(取決于漿料類型),因此對(duì)其中的過(guò)氧化氫濃度進(jìn)行分析極具挑戰(zhàn)性。但通過(guò)對(duì)特定漿料的折射率及溫度特性進(jìn)行標(biāo)定,RI測(cè)量法可以不懼這些困難條件,成功測(cè)量出鎢漿料中的過(guò)氧化氫濃度并將誤差控制在±0.03%(重量)以內(nèi)。此外,EE160-HT6XXPBB/TX004M溫濕度傳感器 ?EE820-C6XPP-002SEE160-HT3XAPBB-TX002MEE160-HT3XXPAB/TX002M現(xiàn)貨。內(nèi)蒙古工業(yè)溫濕度表溫濕度傳感器品牌

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