SMD貼片電容內部缺陷會導致電路失效，超聲顯微鏡通過C-Scan模式可檢測電容介質層空洞。某案例中，國產設備采用50MHz探頭對0402尺寸電容進行檢測，發現0.05mm2空洞，通過定量分析功能計算空洞占比。其檢測靈敏度較X射線提升2個數量級，且適用于在線分選。蜂窩結構脫粘是航空領域常見缺陷，C-Scan模式通過平面投影成像可快速定位脫粘區域。某案例中，國產設備采用80MHz探頭對鋁蜂窩板進行檢測，發現0.2mm寬脫粘帶，通過彩色C-Scan功能區分脫粘與正常粘接區域。其檢測效率較敲擊法提升20倍，且無需破壞結構。芯片超聲顯微鏡可精確檢測芯片內部的層疊結構。浙江半導體超聲顯微鏡工作原理

空洞超聲顯微鏡內置的缺陷數據庫與自動合規性報告生成功能，大幅提升了檢測結果的分析效率與標準化程度，滿足行業質量管控需求。該設備的缺陷數據庫包含不同類型半導體產品（如 IC 芯片、功率器件）的典型空洞缺陷案例，涵蓋空洞的形態（如圓形、不規則形）、大小、分布特征及對應的質量等級，檢測時，設備可自動將當前檢測到的空洞與數據庫中的案例進行比對，快速判斷缺陷類型與嚴重程度。同時，數據庫還集成了主流的行業標準（如 IPC-610 電子組件可接受性標準、JEDEC 半導體標準），包含不同產品類型的空洞率合格閾值（如部分功率器件要求空洞率≤5%）。檢測完成后，設備可自動計算空洞率、分布密度等關鍵參數，并與標準閾值對比，生成合規性報告，報告中會詳細列出檢測樣品信息、檢測參數、缺陷數據、對比結果及合格性判定，支持 PDF 格式導出，便于質量部門存檔與追溯。這一功能不僅減少了人工分析的工作量與誤差，還確保了檢測結果的標準化與一致性，滿足大規模生產中的質量管控需求。上海B-scan超聲顯微鏡結構超聲顯微鏡用途普遍，促進科研進步。

斷層超聲顯微鏡的主要優勢在于對樣品內部結構的分層成像能力，其技術本質是通過精細控制聲波聚焦深度，結合脈沖回波的時間延遲分析實現。檢測時，聲透鏡將高頻聲波聚焦于樣品不同層面，當聲波遇到材料界面或缺陷時，反射信號的時間差異會被轉化為灰度值差異，比較終重建出橫截面（C-Scan）或縱向截面（B-Scan）圖像。例如在半導體檢測中，它可分別聚焦于 compound 表面、Die 表面及 Pad 表面，清晰呈現各層的結構完整性，這種分層掃描能力使其能突破傳統成像的 “疊加模糊” 問題，為材料內部缺陷定位提供精細可視化支持。

相控陣超聲顯微鏡的技術升級方向正朝著 “陣列化 + 智能化” 發展，其多元素換能器與全數字波束形成技術為 AI 算法的應用奠定了基礎。在復合材料檢測中，傳統方法只能識別缺陷存在，而該設備可通過采集缺陷散射信號的振幅、相位等特性參數，結合 AI 模型進行深度學習訓練，實現對缺陷尺寸、形狀、性質的自動分類與定量評估。例如在航空航天復合材料焊接件檢測中，它能快速區分分層、夾雜物與裂紋等缺陷類型，并計算缺陷擴展風險，這種智能化分析能力不僅提升了檢測效率，還為材料可靠性評估提供了科學依據，推動無損檢測從 “定性判斷” 向 “定量預測” 轉變。國產 B-scan 超聲顯微鏡通過縱向斷層成像，可準確識別半導體芯片內部 1-5μm 級鍵合缺陷。

Wafer 晶圓是半導體芯片制造的主要原材料，其表面平整度、內部電路結構完整性直接決定芯片的性能和良率。Wafer 晶圓顯微鏡整合了高倍率光學成像與超聲成像技術，實現對晶圓的各個方面檢測。在晶圓表面檢測方面，高倍率光學系統的放大倍率可達數百倍甚至上千倍，能夠清晰觀察晶圓表面的劃痕、污漬、微粒等微小缺陷，這些缺陷若不及時清理，會在后續的光刻、蝕刻等工藝中影響電路圖案的精度。在晶圓內部電路結構檢測方面，超聲成像技術發揮重要作用，通過發射高頻超聲波，可穿透晶圓表層，對內部的電路布線、摻雜區域、晶格缺陷等進行成像檢測。例如在晶圓制造的中后段工藝中，利用 Wafer 晶圓顯微鏡可檢測電路層間的連接狀態，判斷是否存在斷線、短路等問題。通過這種各個方面的檢測方式，Wafer 晶圓顯微鏡能夠幫助半導體制造商在晶圓生產的各個環節進行質量管控，及時剔除不合格晶圓，降低后續芯片制造的成本損失，提升整體生產良率。空耦式超聲顯微鏡實現遠距離非接觸檢測。上海C-scan超聲顯微鏡系統

超聲顯微鏡軟件功能強大，支持數據分析。浙江半導體超聲顯微鏡工作原理

SAM 超聲顯微鏡的透射模式是專為特定場景設計的檢測方案，與主流的反射模式形成互補，其工作原理為在樣品上下方分別設置發射與接收換能器，通過捕獲穿透樣品的聲波能量實現檢測。該模式尤其適用于半導體器件的批量篩選，對于塑料封裝等高頻聲波衰減嚴重的材料，反射信號微弱難以識別，而透射信號能更直接地反映內部結構完整性。在實際應用中，透射模式常與自動化輸送系統結合，對晶圓、SMT 貼片器件進行快速檢測，可高效識別貫穿性裂紋、芯片錯位等嚴重缺陷，是半導體量產過程中的重要質量管控手段。浙江半導體超聲顯微鏡工作原理