在超聲顯微鏡工作原理中，聲阻抗是連接聲波傳播與缺陷識別的主要物理量，其定義為材料密度與聲波在材料中傳播速度的乘積（Z=ρv）。不同材料的聲阻抗存在差異，當超聲波從一種材料傳播到另一種材料時，若兩種材料的聲阻抗差異較大，會有更多的聲波被反射，形成較強的反射信號；若聲阻抗差異較小，則大部分聲波會穿透材料，反射信號較弱。這一特性是超聲顯微鏡識別缺陷的關鍵：例如，當超聲波在半導體芯片的 Die（硅材質，聲阻抗約 3.1×10^6 kg/(m2?s)）與封裝膠（環氧樹脂，聲阻抗約 3.5×10^6 kg/(m2?s)）之間傳播時，若兩者接合緊密，聲阻抗差異小，反射信號弱，圖像中呈現為均勻的灰度；若存在脫層缺陷（缺陷處為空氣，聲阻抗約 4.3×10^2 kg/(m2?s)），空氣與 Die、封裝膠的聲阻抗差異極大，會產生強烈的反射信號，在圖像中呈現為明顯的亮斑，從而實現缺陷的識別。在實際檢測中，技術人員會根據檢測材料的聲阻抗參數，調整設備的增益與閾值，確保能準確區分正常界面與缺陷區域的反射信號，提升檢測精度。電磁式超聲顯微鏡利用電磁原理激發超聲波進行檢測。江蘇分層超聲顯微鏡軟件

芯片超聲顯微鏡支持 A 掃描、B 掃描、C 掃描等多種成像模式切換，其中 C 掃描模式因能生成芯片表面的 2D 缺陷分布圖，成為批量芯片篩查的主要工具，大幅提升檢測效率。在芯片量產檢測中，需對大量芯片（如每批次數千片）進行快速缺陷篩查，傳統的單點檢測方式效率低下，無法滿足量產需求。C 掃描模式通過探頭在芯片表面進行二維平面掃描，將每個掃描點的反射信號強度轉化為灰度值，生成芯片表面的 2D 圖像，圖像中不同灰度值表示不同的材料特性或缺陷狀態，如空洞、分層等缺陷會呈現為高亮或低亮區域，技術人員可通過觀察 2D 圖像快速判斷芯片是否存在缺陷，以及缺陷的位置與大致范圍。該模式的檢測速度快，單片芯片（如 10mm×10mm）的檢測時間可控制在 1-2 分鐘內，且支持自動化批量檢測，可與產線自動化輸送系統對接，實現芯片的自動上料、檢測、下料與缺陷分類，滿足量產場景下的高效檢測需求。浙江空洞超聲顯微鏡軟件關于空洞超聲顯微鏡的缺陷數據庫與合規性報告生成。

SMD貼片電容內部缺陷會導致電路失效，超聲顯微鏡通過C-Scan模式可檢測電容介質層空洞。某案例中，國產設備采用50MHz探頭對0402尺寸電容進行檢測，發現0.05mm2空洞，通過定量分析功能計算空洞占比。其檢測靈敏度較X射線提升2個數量級，且適用于在線分選。蜂窩結構脫粘是航空領域常見缺陷，C-Scan模式通過平面投影成像可快速定位脫粘區域。某案例中，國產設備采用80MHz探頭對鋁蜂窩板進行檢測，發現0.2mm寬脫粘帶，通過彩色C-Scan功能區分脫粘與正常粘接區域。其檢測效率較敲擊法提升20倍，且無需破壞結構。

設備搭載自主研發檢測軟件，支持中英文界面與功能持續升級。在半導體封裝檢測中，軟件通過TAMI斷層掃描技術實現缺陷三維定位，并結合ICEBERG離線分析功能生成檢測報告。某企業利用該軟件建立缺陷數據庫，支持SPC過程控制與CPK能力分析，將晶圓良品率提升8%。軟件還集成AI算法，可自動識別常見缺陷模式并生成修復建議。例如，某研究采用15MHz探頭對加速度計進行檢測，發現鍵合層存在7μm寬裂紋，通過聲速衰減系數計算確認該缺陷導致器件靈敏度下降12%。國產設備通過高壓氣體耦合技術，在30atm氦氣環境中將分辨率提升至7μm，滿足MEMS器件嚴苛的檢測需求。國產 B-scan 超聲顯微鏡通過縱向斷層成像，可準確識別半導體芯片內部 1-5μm 級鍵合缺陷。

SAM 超聲顯微鏡（即掃描聲學顯微鏡，簡稱 C-SAM）的主要工作模式為脈沖反射模式，這一模式賦予其高分辨率與無厚度限制的檢測優勢，使其成為半導體行業不可或缺的無損檢測設備。在 IC 芯片后封裝測試中，傳統 X 射線難以識別的 Die 表面脫層、錫球隱性裂縫及填膠內部氣孔等缺陷，SAM 可通過壓電換能器發射 5-300MHz 高頻聲波，利用聲阻抗差異產生的反射信號精細捕獲。同時，它在 AEC-Q100 等行業標準中被明確要求用于應力測試前后的結構檢查，能直觀呈現主要部件內部的細微變化，為失效分析提供關鍵依據。氣泡超聲顯微鏡減少塑料制品瑕疵。上海焊縫超聲顯微鏡原理

超聲顯微鏡結構緊湊，便于現場操作。江蘇分層超聲顯微鏡軟件

動力電池的安全性是新能源汽車、儲能設備等領域關注的主要問題，而動力電池極片的質量直接影響電池的安全性和性能。極片在制備過程中，由于涂布、碾壓、裁切等工藝環節的影響，易產生微裂紋、異物夾雜等缺陷。這些缺陷在電池充放電循環過程中，可能會導致極片結構破壞，引發電解液分解、熱失控等安全隱患。相控陣超聲顯微鏡憑借其快速掃描成像的優勢，成為動力電池極片檢測的重要設備。其多陣元探頭可通過相位控制，實現超聲波束的快速切換和大面積掃描，相較于傳統檢測設備，檢測速度提升明顯，能夠滿足動力電池極片大規模生產的檢測需求。同時，相控陣超聲顯微鏡具有較高的成像分辨率，可精細檢測出極片內部微米級的微裂紋和微小異物。例如，對于極片內部因碾壓工藝不當產生的微裂紋，設備可通過分析超聲信號的變化，清晰呈現裂紋的長度、寬度和位置；對于極片制備過程中混入的微小金屬異物，由于其與極片活性物質的聲阻抗差異，會在成像結果中形成明顯的異常信號，便于檢測人員快速識別。通過對極片缺陷的精細檢測，可有效篩選出不合格極片，避免其進入后續電池組裝環節，從而提升動力電池的安全性。江蘇分層超聲顯微鏡軟件