能量色散X射線光譜（EDX）原理 　　能量色散X射線光譜（EDX）基于XRF原理，利用半導體探測器直接測量X射線光子的能量。當樣品受激發產生X射線熒光后，不同能量的光子被探測器捕獲，探測器將光子轉化為電脈沖信號。通過多道脈沖分析器對電脈沖信號進行處理，按照能量大小分類并統計，繪制出能量-計數率的光譜圖。依據特征能量峰的位置和強度，確定元素種類與含量，該方法無需晶體分光，能快速同時分析多種元素，適合RoHS檢測的快速篩查需求。

波長色散X射線光譜（WDX）原理 　　波長色散X射線光譜（WDX）同樣以XRF為基礎，通過晶體分光來分離不同波長的X射線。樣品產生的X射線熒光經準直器后，照射到晶體分光器上，根據布拉格衍射原理，不同波長的X射線在晶面上以特定角度發生衍射。探測器在相應角度接收衍射后的X射線，依據晶體的晶格常數和衍射角度，計算出X射線的波長，從而確定元素種類；通過測量特征X射線強度來計算元素含量。WDX分辨率高，定量分析準確，在RoHS檢測中對元素精確定量有重要應用。