廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-11
排查需分四步:一是檢查真空泵油位,若油位低于刻度線,補加同型號油;二是檢查油質,若油色發黑或有雜質,更換新油;三是檢查泵體固定螺栓,若松動,重新緊固;四是檢查泵內葉片,若葉片磨損,需維修或更換真空泵。排查時需停機操作,確保安全。廣東華芯半導體技術有限公司可提供真空泵噪音排查服務,快速定位問題。
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