廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-30

管道堵塞常見癥狀：氮氣流量顯示驟降（如從 10L/min 降至 3L/min）、氧含量波動頻繁（±15ppm 以上）、腔體升溫速率變慢（超常規 20%）。疏通需分步操作：先關閉氮氣源，拆下管道接口，用 φ2-3mm 通針清理細小管道；主管道（直徑≥10mm）可用壓縮空氣（0.3-0.5MPa）反向吹掃，配合特定管道清洗劑（中性溶劑）浸泡 20-30min；堵塞嚴重時，需更換局部管道（建議選 316L 不銹鋼材質，內壁光滑不易積垢）。日常需每月檢查管道壓力表，發現壓力異常及時排查。廣東華芯半導體技術有限公司可提供管道疏通工具與上門檢修服務。

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