廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜時(shí)真空度無法降到設(shè)定值，先逐級(jí)排查：1) 用氦質(zhì)譜檢漏，重點(diǎn)查法蘭、觀察窗、電極引入，漏率＞1×10???Pa·m3/s即換密封圈；2) 檢查前級(jí)泵油是否乳化或缺油，必要時(shí)換新油并開氣鎮(zhèn)30 min排水汽；3) 拆洗擴(kuò)散泵/分子泵葉片及冷卻帽，積碳油膜會(huì)降低抽速30%以上；4) 腔壁或擋板沉積層過厚，放氣面積增大，用Ar等離子體原位刻蝕10 min或濕擦烘干；5) 確認(rèn)MFC無內(nèi)漏，關(guān)閉所有進(jìn)氣閥觀察壓升率，應(yīng)＜0.5 Pa·h?1；6) 檢查真空計(jì)規(guī)管是否老化，校準(zhǔn)零點(diǎn)。經(jīng)上述金屬表面處理維護(hù)，本底可恢復(fù)至≤5×10???Pa，成膜質(zhì)量與重復(fù)性達(dá)標(biāo)，保障連續(xù)金屬表面處理真空鍍膜生產(chǎn)，降低金屬表面處理停線損失。

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