杭州宏譽智能科技有限公司2025-08-01

半導體潔凈烘箱是芯片制造中晶圓清洗、光刻膠固化等環節的設備，需在高溫環境下維持百級以上潔凈度。此次發布的設備通過三項關鍵技術突破實現行業帶領： 納米級溫控系統：采用多區單獨PID算法與冗余傳感器陣列，使箱內溫度均勻性誤差控制在±0.3℃以內，優于行業標準40%以上。 雙循環潔凈保障：集成HEPA-ULPA多級過濾系統與氣流動力學模型，顆粒物濃度≤0.1μm/m3，滿足3納米制程工藝需求。 綠色節能設計：通過余熱回收裝置與智能功率模塊，能耗較傳統設備降低35%，單臺年減碳量可達12噸。

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