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水浸超聲檢測在先進封裝中的典型應用場景有哪些？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-07-26

3D堆疊芯片檢測。水浸超聲可穿透多層硅通孔（TSV）結構，檢測層間空洞、金屬化層裂紋等缺陷。例如，在HBM存儲芯片檢測中，通過T掃描重建三維結構，識別TSV內部微米級空洞，避免因熱膨脹系數不匹配導致的失效。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司
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簡介：杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業從事半導體檢測設備研發、生產、銷售為一體的科技型企業。
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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-07-26

    SiP系統級封裝檢測。SiP封裝集成多種材料（如硅、陶瓷、塑料），水浸超聲可利用不同材料的聲阻抗差異，區分界面缺陷與材料內部缺陷。例如，檢測射頻模塊時，可識別金錫焊料與陶瓷基板間的界面分離，以及塑料封裝體的內部氣孔。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-08-01

    晶圓級封裝（WLP）檢測。WLP封裝厚度*0.1-0.5mm，需使用高頻探頭（如100MHz）和短脈沖寬度（如50ns）以避免信號混疊。例如，檢測扇出型晶圓級封裝（FOWLP）時，水浸超聲可識別再布線層（RDL）與凸點（Bump）間的微連接缺陷，確保信號傳輸可靠性。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司

聯系人： 吳先生

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