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晶圓掃描顯微鏡的維護保養有哪些關鍵點？如何延長設備壽命？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-10-23

防潮是關鍵。光學鏡片受潮易生霉，導致光線散射或圖像模糊。存放時應選擇干燥環境（濕度<50%），并在顯微鏡箱內放置硅膠干燥劑，定期烘烤（如60℃烘烤2小時）以恢復吸濕能力；機械部分受潮易生銹，需避免接觸液體。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司
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簡介：杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業從事半導體檢測設備研發、生產、銷售為一體的科技型企業。
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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-24

    防塵可減少磨損。灰塵落入光學系統會降低透光率，落入機械部分（如導軌、齒輪）會增加摩擦，導致運動受阻。使用前需用吹風球清理載物臺和物鏡表面灰塵，避免用布直接擦拭；長期停用時需覆蓋防塵罩。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-29

    定期校準確保精度。物鏡、光源、載物臺等部件需定期校準（如每3個月一次），例如檢查物鏡放大倍數是否準確、光源亮度是否均勻、載物臺移動是否平穩；校準需使用標準樣品（如NIST溯源標片），并記錄校準數據以便追溯。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司

聯系人： 吳先生

手   機： 4008034068

網   址： https://www.xjy-tec.com

地   址：
浙江省杭州市市轄區良渚街道網周路99號4幢21層2103室
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