廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

金屬表面處理真空鍍膜氣體流量不穩(wěn)，多因MFC校準(zhǔn)漂移、氣路泄漏或冷凝堵塞。先關(guān)閉閥門，用標(biāo)準(zhǔn)流量槽重新標(biāo)定MFC零點(diǎn)和滿量程，誤差＜±1%；再檢漏，氦質(zhì)譜儀掃描接頭，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)立即換密封圈并擰緊；對(duì)易冷凝的TEOS、HMDSO，將管路加熱至80℃并保溫，防止液滴脈沖；加裝雙級(jí)減壓閥和穩(wěn)壓罐，使入口壓力波動(dòng)＜0.5 bar；在上位機(jī)設(shè)定流量PID閉環(huán)，實(shí)時(shí)比對(duì)設(shè)定與反饋，超差立即報(bào)警。經(jīng)此金屬表面處理優(yōu)化，流量CV值由5%降至1%，膜厚均勻性提升至±1.5%，連續(xù)金屬表面處理真空鍍膜批次無色差，降低金屬表面處理返工率，保障金屬表面處理產(chǎn)線節(jié)拍穩(wěn)定。

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