廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-16

需要，主要保養(yǎng)點(diǎn)有三：一是每 300-500 小時更換真空泵油，油質(zhì)變渾濁時需提前更換，避免磨損泵體；二是每 600-800 小時清潔真空泵進(jìn)氣濾芯，防止雜質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)，影響抽真空效率；三是每月檢查真空泵皮帶松緊度，過松需調(diào)整，過緊易導(dǎo)致軸承損壞。保養(yǎng)時需斷電，按設(shè)備手冊操作，避免違規(guī)拆卸。定期保養(yǎng)可延長真空泵壽命至 5-8 年。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供真空泵保養(yǎng)套餐服務(wù)。

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