中清航科ESG解決方案:設備內置能源管理模塊,智能調節激光功率與主軸轉速,單次切割能耗降低42%。碳追蹤平臺每8小時生成減排報告,助力客戶達成碳中和目標,已獲全球25家代工廠采購認證。功率器件背面金層在切割中易翹曲。中清航科開發脈沖電流輔助切割,在刀片-晶圓界面施加微電流(<10mA),瞬時加熱至150℃軟化金層,剝離風險下降90%,剪切強度保持>45MPa。中清航科推出粉塵組分診斷系統:通過LIBS(激光誘導擊穿光譜)在線分析顆粒元素構成,自動推薦冷卻液配方調整方案。幫助客戶減少因金屬污染導致的芯片失效,良率提升1.2%。晶圓切割全流程追溯系統中清航科開發,實現單芯片級質量管理。金華碳化硅晶圓切割藍膜

在晶圓切割設備的自動化升級浪潮中,中清航科走在行業前列。其新推出的智能切割單元,可與前端光刻設備、后端封裝設備實現無縫對接,通過SECS/GEM協議完成數據交互,實現半導體生產全流程的自動化閉環。該單元還具備自我診斷功能,能提前預警潛在故障,將非計劃停機時間減少60%,為大規模生產提供堅實保障。對于小尺寸晶圓的切割,傳統設備往往面臨定位難、效率低的問題。中清航科專門設計了針對2-6英寸小晶圓的切割工作站,采用多工位旋轉工作臺,可同時處理8片小晶圓,切割效率較單工位設備提升4倍。配合特制的彈性吸盤,能有效避免小晶圓吸附時的損傷,特別適合MEMS傳感器、射頻芯片等小批量高精度產品的生產。蘇州芯片晶圓切割寬度晶圓切割機預防性維護中清航科定制套餐,設備壽命延長5年。

當晶圓切割面臨復雜圖形切割需求時,中清航科的矢量切割技術展現出獨特優勢。該技術可精確識別任意復雜切割路徑,包括圓弧、曲線及異形圖案,通過分段速度調節確保每一段切割的平滑過渡,切割軌跡誤差控制在2μm以內。目前已成功應用于光電子芯片的精密切割,為AR/VR設備中心器件生產提供有力支持。半導體生產車間的設備協同運作對通信兼容性要求極高,中清航科的晶圓切割設備多方面支持OPCUA通信協議,可與主流MES系統實現實時數據交互。通過標準化數據接口,將切割進度、設備狀態、質量數據等信息實時上傳至管理平臺,助力客戶實現生產過程的數字化管控與智能決策。
隨著芯片輕薄化趨勢,中清航科DBG(先切割后研磨)與SDBG(半切割后研磨)設備采用漸進式壓力控制技術,切割階段只切入晶圓1/3厚度,經背面研磨后自動分離。該方案將100μm以下晶圓碎片率降至0.01%,已應用于5G射頻模塊量產線。冷卻液純度直接影響切割良率。中清航科納米級過濾系統可去除99.99%的0.1μm顆粒,配合自主研發的抗靜電添加劑,減少硅屑附著造成的短路風險。智能溫控模塊維持液體粘度穩定,延長刀片壽命200小時以上呢。中清航科切割機遠程診斷系統,故障排除時間縮短70%。

在半導體設備國產化替代的浪潮中,中清航科始終堅持自主創新,中心技術100%自主可控。其晶圓切割設備的關鍵部件如激光發生器、精密導軌、控制系統等均實現國產化量產,不僅擺脫對進口部件的依賴,還將設備交付周期縮短至8周以內,較進口設備縮短50%,為客戶搶占市場先機提供有力支持。展望未來,隨著3nm及更先進制程的突破,晶圓切割將面臨更小尺寸、更高精度的挑戰。中清航科已啟動下一代原子級精度切割技術的研發,計劃通過量子點標記與納米操控技術,實現10nm以下的切割精度,同時布局晶圓-封裝一體化工藝,為半導體產業的持續發展提供前瞻性的技術解決方案,與全球客戶共同邁向更微觀的制造領域。中清航科切割耗材全球供應鏈,保障客戶生產連續性。無錫芯片晶圓切割劃片
中清航科切割機節能模式降低功耗40%,年省電費超15萬元。金華碳化硅晶圓切割藍膜
中清航科創新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案:先以激光在晶圓表面形成引導槽,再用超薄刀片完成切割。此工藝結合激光精度與刀切效率,解決化合物半導體(如GaAs、SiC)的脆性開裂問題,加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應力集中等痛點。中清航科全自動切割機配備多軸聯動補償系統,通過實時監測晶圓形變動態調整切割參數。搭配吸附托盤,將12英寸晶圓平整度誤差控制在±2μm內,支持3DNAND多層堆疊結構加工。金華碳化硅晶圓切割藍膜