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高純氣體管道輸送管道,要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì),它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)進入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù),對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格,10-6(ppm級)已經(jīng)不能達到要求,需要達到10-9(ppb級),甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。對輸送高純氣體管道而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。專業(yè)設(shè)計安裝大宗氣體系統(tǒng),確保供氣穩(wěn)定與超高純度。吉林Scrubber尾氣處理系統(tǒng)廠家

工業(yè)氣體按組份可分為單一品種氣體的工業(yè)純氣和二元或多元氣體的工業(yè)混合氣。國家標(biāo)準(zhǔn)《瓶裝壓縮氣體分類》(GB16163-1996)中,根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶內(nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進行分類,并按其化學(xué)性能,燃燒性、毒性、腐蝕性進行分組。第1類為長久氣體,其臨界溫度〈-10℃,在充裝時以及在允許的工作溫度下儲運和使用過程中均為氣態(tài),分為a、b兩組:a組為不燃無毒和不燃有毒氣體(包括氧、 氮、氬等),b組為可燃無毒和可燃有毒氣體(包括氫等)。第2 類為液化氣體,其臨界溫度≥-10℃, 包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。黑龍江特氣系統(tǒng)我們深刻理解不同工藝環(huán)節(jié)對氣體的差異化要求。

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣,這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會普遍認(rèn)可,它是一種將氣源通過管路設(shè)計集中匯流到用氣點的現(xiàn)代化供氣設(shè)計;這種集中供氣方式很大地提高了效益,降低了人力資源的消耗并且安全美觀,氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢;適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、乙炔、丙烷、液化石油氣等各種氣體的輸送。這種集中供氣與傳統(tǒng)氣瓶供氣方式相比具有相當(dāng)大的優(yōu)勢。主要組成由氣源,匯流裝置,配比裝置,切換裝置,調(diào)壓裝置,終端用起點,監(jiān)控及報警裝置等組成
在集成電路芯片制造中,大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點不斷微縮,工藝步驟繁多,所需氣體種類涵蓋氮氣、氫氣、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大,其純度通常需達到99.999%乃至更高,任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)致整批晶圓失效。因此,大宗特氣系統(tǒng)通過集成純化裝置、實時監(jiān)測與自動切換功能,構(gòu)建起一套全天候、高穩(wěn)定的供應(yīng)鏈,成為芯片廠不可或缺的基礎(chǔ)設(shè)施。大宗特氣系統(tǒng)的技術(shù)基礎(chǔ)源于大型氣柜存儲與分配技術(shù)的升級我們?yōu)樯镏扑幤髽I(yè)提供的GMP級別氣體系統(tǒng),符合藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范。

高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃、且≤70℃,在充裝時為液態(tài),但在允許的工作溫度下儲運和使用過程中隨著溫度升高至臨界溫度時即蒸發(fā)為氣態(tài),分為a、b、c三組:a組為不燃無毒和不燃有毒氣體(包括二氧化碳);b組為可燃無毒和自燃有毒氣體;c組為易分解或聚合的可燃?xì)怏w。低壓液化氣體臨界溫度〉70℃,在充裝時以及在允許的工作溫度下儲運和使用過程中均為液態(tài),也分為a、b、c三組:a組為不燃無毒和不燃有毒及酸性腐蝕氣體(包括氯);b組為可燃無毒和可燃有毒及堿性腐蝕氣體(包括氨);c組為易分解或聚合的可燃?xì)怏w。第3類為溶解乙炔,在壓力下溶解于氣瓶內(nèi)溶劑的氣體,有a組:易分解或聚合的可燃?xì)怏w(包括乙炔)。此分類是混合氣配制的基礎(chǔ)。為光纖預(yù)制棒及拉絲工藝提供穩(wěn)定、無污染的高純氣體和特種氣體供應(yīng)。吉林Scrubber尾氣處理系統(tǒng)廠家
大宗氣體系統(tǒng)包含氮氣、氧氣、氬氣等的制備、純化、儲存與分配單元。吉林Scrubber尾氣處理系統(tǒng)廠家
特氣管道系統(tǒng)是保障高危險性特種氣體安全應(yīng)用的主要載體,其涵蓋SiH?、NF?、Cl?等易燃易爆、有毒、腐蝕性氣體,以及純度超99.999%的超高純氣體的儲存、輸送與分配全流程,由各類專業(yè)設(shè)備、管道及部件共同構(gòu)成。由于涉及氣體的高危特性,安全性是該系統(tǒng)設(shè)計與運行的首要準(zhǔn)則。與之配套的特氣系統(tǒng)工程,則通過系統(tǒng)性的技術(shù)方案與實施流程,為特氣管道系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定使用提供全方面保障,是特種氣體在工業(yè)生產(chǎn)中合規(guī)應(yīng)用的重要支撐。吉林Scrubber尾氣處理系統(tǒng)廠家
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