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紹興大學(xué)實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵潔凈實(shí)驗(yàn)室

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-12-24

嘉興半導(dǎo)體車間因半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)對(duì)微粒(尤其是≥0.1μm微粒)敏感度極高(如14nm芯片生產(chǎn)環(huán)境需達(dá)到ISO 1級(jí)潔凈度,每立方米≥0.1μm微?!?0粒),面臨微粒污染控制難題,主要包括:車間內(nèi)人員走動(dòng)、設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的二次微粒(如人員衣物纖維、設(shè)備磨損顆粒),外部空氣經(jīng)通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)入時(shí)攜帶的微粒,物料(如晶圓、光刻膠)運(yùn)輸過程中產(chǎn)生的微粒,以及潔凈室裝修材料(如墻面、地面、吊頂)釋放的微粒;針對(duì)這些難題,解決方案需從源頭防控、過程管控、末端凈化三方面入手,首先在源頭防控上,選用低微粒釋放的裝修材料,如不銹鋼墻面、環(huán)氧自流平地面、無(wú)硅密封膠,人員進(jìn)入車間需穿戴防靜電無(wú)塵服(采用超細(xì)纖維材質(zhì),微粒脫落率≤10粒/分鐘),經(jīng)過風(fēng)淋室(風(fēng)速≥25m/s,吹淋時(shí)間≥30秒)去除表面微粒,設(shè)備選用無(wú)油潤(rùn)滑型,定期進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng),減少磨損顆粒產(chǎn)生,物料運(yùn)輸采用無(wú)塵搬運(yùn)車,運(yùn)輸過程中使用密封容器;過程管控方面,采用“單向流+空氣凈化”系統(tǒng),車間內(nèi)氣流以0.3~0.5m/s的速度單向流動(dòng),將微粒快速排出,在關(guān)鍵生產(chǎn)區(qū)域(如光刻區(qū))部署FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元),配備H14級(jí)HEPA過濾器,確保局部潔凈度達(dá)標(biāo)。湖州食品加工凈化車間。紹興大學(xué)實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵潔凈實(shí)驗(yàn)室

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2025年FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)與HEPA(高效空氣過濾器)選擇需結(jié)合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(如ISO 14644-1空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)、GB/T 13554-2022《高效空氣過濾器》)及潔凈室實(shí)際需求,F(xiàn)FU選擇首先關(guān)注風(fēng)量參數(shù),需根據(jù)潔凈室面積、高度及潔凈級(jí)別確定,如百級(jí)潔凈區(qū)FFU風(fēng)量一般為1200m3/h~2000m3/h,同時(shí)考量風(fēng)機(jī)類型,無(wú)刷直流風(fēng)機(jī)(BLDC)相比交流風(fēng)機(jī)節(jié)能30%以上,且運(yùn)行噪音低(≤55dB)、壽命長(zhǎng)(≥50000小時(shí)),可優(yōu)先選用,還需檢查FFU的密封性,箱體與過濾器連接處采用雙密封設(shè)計(jì),防止漏風(fēng),控制系統(tǒng)選擇具備變頻功能的型號(hào),便于根據(jù)潔凈室污染情況調(diào)節(jié)風(fēng)量,降低能耗,此外需關(guān)注FFU的尺寸兼容性,確保與潔凈室吊頂布局匹配;HEPA過濾器選擇是過濾效率,根據(jù)潔凈級(jí)別選擇對(duì)應(yīng)效率等級(jí),如A級(jí)潔凈區(qū)需選用H14級(jí)及以上HEPA過濾器(對(duì)≥0.3μm微粒過濾效率≥99.995%),材質(zhì)上玻璃纖維濾紙相比合成纖維濾紙過濾效率更穩(wěn)定,但抗?jié)裥阅茌^差,潮濕環(huán)境下可選用合成纖維濾紙,還需考量過濾器的容塵量,容塵量越大,使用壽命越長(zhǎng)(一般H14級(jí)HEPA過濾器使用壽命≥2年),同時(shí)檢查過濾器的框架材質(zhì),不銹鋼框架耐腐蝕、強(qiáng)度高,適用于醫(yī)藥、電子等嚴(yán)苛環(huán)境。無(wú)錫電氣無(wú)塵潔凈實(shí)驗(yàn)室車間設(shè)計(jì)杭州生物醫(yī)藥凈化工程。

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GMP 潔凈車間驗(yàn)收需嚴(yán)格依據(jù)藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范開展全流程核查,首先進(jìn)行前期資料審核,核對(duì)廠房布局圖、凈化系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案等是否符合 “生產(chǎn)與輔助區(qū)互不干擾” 原則,隨后開展現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境檢測(cè),重點(diǎn)核查潔凈區(qū)內(nèi)表面平整度與密封性,窗戶、管道接口等部位需無(wú)裂縫且密封嚴(yán)密,溫度控制在 18~26℃、相對(duì)濕度 45%~65%,不同潔凈級(jí)別相鄰房間靜壓差≥5Pa,與室外靜壓差≥10Pa,同時(shí)檢測(cè)塵粒數(shù)與微生物數(shù)并留存記錄;設(shè)施設(shè)備驗(yàn)收環(huán)節(jié)需確認(rèn)照明系統(tǒng)滿足主要工作室 300 勒克斯照度要求且配備應(yīng)急照明,水池、地漏無(wú)污染風(fēng)險(xiǎn),高致敏品生產(chǎn)區(qū)域需具備廠房與負(fù)壓排風(fēng)系統(tǒng),空氣凈化系統(tǒng)的初、中、高效過濾器安裝合規(guī);進(jìn)行綜合性能驗(yàn)證,通過模擬生產(chǎn)流程檢查交叉污染防控措施有效性,核對(duì)所有檢測(cè)數(shù)據(jù)與驗(yàn)收文件完整性,確保符合 GMP 全項(xiàng)要求后方可出具驗(yàn)收合格報(bào)告。

環(huán)氧自流平與PVC地板是潔凈室常用地面材料,二者在性能、適用場(chǎng)景上各有優(yōu)勢(shì),環(huán)氧自流平地板以環(huán)氧樹脂為主要成分,通過自流平施工形成無(wú)縫整體地面,具有度、高耐磨、耐腐蝕(耐酸堿、溶劑等)特性,表面光滑平整、易清潔,無(wú)衛(wèi)生死角,且防塵性能優(yōu)異,能有效減少地面揚(yáng)塵對(duì)潔凈環(huán)境的影響,適用溫度范圍較廣(-40~120℃),可根據(jù)潔凈室需求調(diào)配不同顏色,還能制作防靜電涂層,滿足電子、醫(yī)藥等行業(yè)對(duì)地面防靜電的要求,但施工周期較長(zhǎng),對(duì)基層平整度要求高,低溫環(huán)境下固化速度慢,且局部損壞后修復(fù)難度較大,易出現(xiàn)色差;PVC地板則以聚氯乙烯為主要原料,質(zhì)地柔軟、彈性好,腳感舒適,施工便捷,拼接縫可通過熱焊接處理實(shí)現(xiàn)無(wú)縫連接,具有良好的耐磨性、耐污性,清潔維護(hù)成本低,耐沖擊性能強(qiáng),不易因重物撞擊損壞,適用在潔凈室人員走動(dòng)頻繁、有一定抗沖擊需求的區(qū)域,如走廊、操作區(qū)等,但耐高溫性能較差(一般不超過60℃),易受尖銳物體劃傷,在強(qiáng)酸堿環(huán)境下易發(fā)生腐蝕,且防靜電性能需通過特殊處理才能達(dá)到要求,選擇時(shí)需根據(jù)潔凈室的行業(yè)屬性(如醫(yī)藥、電子、食品)、潔凈級(jí)別、使用場(chǎng)景(如是否有高溫、強(qiáng)腐蝕、重物沖擊等情況)。半導(dǎo)體無(wú)塵車間ISO Class 1-3標(biāo)準(zhǔn)。

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聚焦 2025: 生物醫(yī)藥潔凈室 GMP 規(guī)范解讀與工程實(shí)踐2025 版《醫(yī)療器械生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》作為時(shí)隔 11 年的重大修訂,在 2014 版基礎(chǔ)上擴(kuò)展為 15 章 132 條,新增 “質(zhì)量保證”“驗(yàn)證與確認(rèn)”“委托生產(chǎn)與外協(xié)加工” 3 大章節(jié),工程實(shí)踐中需重點(diǎn)落實(shí)全生命周期風(fēng)險(xiǎn)管理與數(shù)智化轉(zhuǎn)型要求,設(shè)計(jì)階段需編制《驗(yàn)證與確認(rèn)總計(jì)劃》覆蓋設(shè)備、工藝、清潔等環(huán)節(jié),關(guān)鍵工序如滅菌再驗(yàn)證周期≤2 年,潔凈室布局需滿足 “研發(fā) - 生產(chǎn) - 銷售 - 售后” 全鏈條管控需求,新增設(shè)計(jì)輸出需包含生產(chǎn)關(guān)鍵控制參數(shù)建議,落地時(shí)在設(shè)計(jì)文件中增加《生產(chǎn)工藝適配性評(píng)估報(bào)告》并由生產(chǎn)部門參與評(píng)審;施工階段需將外協(xié)加工方納入供應(yīng)商名錄實(shí)施動(dòng)態(tài)分級(jí)管理,墻面選用 316L 不銹鋼板焊接平整,地面采用環(huán)氧自流平(厚度≥2mm,抗壓強(qiáng)度≥70MPa),所有接縫用無(wú)硅密封膠密封;驗(yàn)證階段需確保驗(yàn)證報(bào)告包含方案、原始數(shù)據(jù)、結(jié)論、審批鏈,變更控制按影響程度分重大 / 一般 / 微小分級(jí)管理,重大變更需驗(yàn)證確認(rèn)并在實(shí)施后 3 個(gè)月內(nèi)評(píng)估效果,同時(shí)部署在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)實(shí)時(shí)采集溫濕度、壓差、微生物等數(shù)據(jù),存儲(chǔ)周期不少于 5 年,工程實(shí)踐需在 2026 年 11 月新規(guī)實(shí)施前完成全員培訓(xùn)、差距分析及體系文件修訂,二類 / 三類企業(yè)優(yōu)先確保管理者與質(zhì)量負(fù)責(zé).8年經(jīng)驗(yàn),100+成功案例:聚佰凈如何提升杭州凈化廠房施工效率20%。南京醫(yī)療器械無(wú)塵潔凈實(shí)驗(yàn)室工程

聚佰凈助力長(zhǎng)三角企業(yè)打造高標(biāo)準(zhǔn)潔凈環(huán)境。紹興大學(xué)實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵潔凈實(shí)驗(yàn)室

嘉興生物實(shí)驗(yàn)室建設(shè)需遵循《生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范》(GB 50346-2011)與浙江2025實(shí)驗(yàn)室建設(shè)新規(guī),流程與要求包括:前期需完成項(xiàng)目備案與生物安全評(píng)估,明確實(shí)驗(yàn)室等級(jí)(如BSL-2/BSL-3)與功能定位(如微生物檢測(cè)、細(xì)胞研發(fā)),委托具備生物實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)資質(zhì)的單位制定方案,方案需包含平面布局、空氣凈化、生物安全防護(hù)等內(nèi)容,經(jīng)評(píng)審?fù)ㄟ^后方可施工;施工階段需嚴(yán)格把控材料質(zhì)量,墻面選用耐腐蝕不銹鋼板(304/316L),地面為環(huán)氧自流平(厚度≥2mm,抗壓強(qiáng)度≥70MPa),吊頂為防火彩鋼板(耐火極限≥0.5h),所有材料需提供檢測(cè)報(bào)告,確保無(wú)微粒釋放與有害物質(zhì);空氣凈化系統(tǒng)施工需安裝各級(jí)過濾器,高效過濾器需進(jìn)行DOP檢漏測(cè)試(漏風(fēng)率≤0.1%),通風(fēng)管道采用不銹鋼材質(zhì)(內(nèi)壁光滑,無(wú)死角),負(fù)壓區(qū)域風(fēng)管密封等級(jí)需達(dá)到Class C;生物安全設(shè)施安裝需符合標(biāo)準(zhǔn),生物安全柜需經(jīng)第三方檢測(cè)合格,高壓滅菌器需具備自動(dòng)記錄功能,廢水消毒設(shè)備需確保處理后大腸桿菌≤3個(gè)/L;驗(yàn)收階段需開展綜合性能測(cè)試,包括溫濕度(2225℃±1℃,50%60%±3%)、壓差(相鄰區(qū)域≥5Pa)、潔凈度(A級(jí)區(qū)≥0.5μm微?!?520粒/m3)、微生物數(shù)(沉降菌≤1CFU/皿)檢測(cè)。紹興大學(xué)實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵潔凈實(shí)驗(yàn)室

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