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上海彌正針對 Chiplet(芯粒)先進(jìn)封裝技術(shù),推出全流程超高純氣體解決方案,以 “低顆粒 + 高穩(wěn)定性” 支撐芯片異構(gòu)集成的精密工藝需求。方案覆蓋倒裝焊、鍵合、再分布層(RDL)制備等重心環(huán)節(jié),提供的超高純氮?dú)狻鍤狻錃獾葰怏w,顆粒物(≥0.1μm)含量≤10 個(gè) /m3,純度達(dá) 6N 級以上,完全滿足封裝工藝對微污染控制的嚴(yán)苛要求。在倒裝焊工藝中,超高純氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣,能有效防止焊料氧化,提升焊接良率;在 RDL 制備的電鍍與蝕刻環(huán)節(jié),高純度氣體確保金屬布線的精細(xì)度與導(dǎo)電性,助力實(shí)現(xiàn)高密度互聯(lián)。提供 “瓶裝 + 管道” 結(jié)合的靈活供應(yīng)模式,適配 Chiplet 封裝多批次、高精度的生產(chǎn)特點(diǎn),并配備在線顆粒計(jì)數(shù)器與純度監(jiān)測儀,實(shí)時(shí)監(jiān)控氣體品質(zhì)。某的先進(jìn)封裝企業(yè)應(yīng)用該方案后,Chiplet 產(chǎn)品的鍵合良率從 95% 提升至 99.2%,RDL 線寬精度控制在 ±0.1μm 以內(nèi),封裝密度提升 30%,有力推動(dòng)了國產(chǎn) Chiplet 技術(shù)的商業(yè)化落地。超高純氬氣(雜質(zhì)含量≤1ppm)適配激光切割,提升金屬加工切口光滑度。1-丁烯超高純氣體檢測分析

上海彌正構(gòu)建從生產(chǎn)到終端使用的全鏈條超潔凈保障體系,通過包裝與輸送系統(tǒng),確保超高純氣體全程無二次污染。氣瓶選用 316L 不銹鋼材質(zhì),經(jīng)一體鍛造與電解拋光處理,內(nèi)壁粗糙度≤0.1μm,無衛(wèi)生死角,避免雜質(zhì)吸附與氣體污染;閥門采用進(jìn)口超潔凈隔膜閥,密封性能優(yōu)異,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s,確保氣體儲(chǔ)存過程中無泄漏與純度衰減。輸送管道采用 316L 不銹鋼無縫管,經(jīng)鈍化與脫脂處理,管道連接采用卡套式接頭,無螺紋污染風(fēng)險(xiǎn),輸送過程中氣體顆粒雜質(zhì)含量≤1 顆 /μm。提供定制化的管道鋪設(shè)與系統(tǒng)集成服務(wù),根據(jù)客戶車間布局與設(shè)備需求,設(shè)計(jì)比較好輸送路徑,減少管道阻力與氣體滯留;配備在線純度監(jiān)測裝置,實(shí)時(shí)監(jiān)控輸送過程中氣體純度變化,一旦出現(xiàn)異常立即自動(dòng)切斷供應(yīng),保障終端氣體品質(zhì)。某電子企業(yè)應(yīng)用該系統(tǒng)后,氣體終端使用純度達(dá)標(biāo)率 100%,設(shè)備因氣體污染導(dǎo)致的故障率下降 80%,大幅提升生產(chǎn)連續(xù)性。江蘇順-2-丁烯超高純氣體半導(dǎo)體制造超高純硅烷(純度 99.999%)是半導(dǎo)體外延生長的關(guān)鍵原料氣。

上海彌正超高純氣體產(chǎn)品多面符合歐盟 RoHS 2.0 指令要求,為電子電器產(chǎn)品達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)提供關(guān)鍵材料保障,助力客戶產(chǎn)品順利進(jìn)入全球市場。公司對生產(chǎn)超高純氣體的原料、輔料及包裝材料進(jìn)行嚴(yán)格篩選與檢測,確保鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻等 RoHS 限制物質(zhì)的含量均低于指令限值(如鉛≤1000ppm),并建立了完整的供應(yīng)商合規(guī)檔案與物料追溯體系。所有產(chǎn)品均通過第三方機(jī)構(gòu)的 RoHS 檢測,出具合格的檢測報(bào)告,可應(yīng)客戶要求提供,用于產(chǎn)品的 RoHS 符合性聲明。在半導(dǎo)體與電子元件制造中,使用該合規(guī)氣體能有效避免產(chǎn)品因材料環(huán)保問題被市場拒入,提升產(chǎn)品的環(huán)保競爭力。某消費(fèi)電子企業(yè)使用其 RoHS 合規(guī)超高純氣體生產(chǎn)的智能手機(jī)零部件,順利通過歐盟 RoHS 認(rèn)證,產(chǎn)品在歐洲市場的銷量同比增長 22%,品牌環(huán)保形象得到明顯提升。
上海彌正憑借低溫精餾、吸附分離、膜分離、催化脫氧等多工藝集成提純技術(shù),實(shí)現(xiàn)超高純氣體 5N-9N 級純度的穩(wěn)定量產(chǎn),技術(shù)水平對標(biāo)國際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)。針對不同氣體特性定制專屬提純方案:惰性氣體采用 “低溫精餾 + 吸附” 組合工藝,有效去除微量雜質(zhì);活性氣體通過 “催化凈化 + 膜分離” 技術(shù),精細(xì)控制有害雜質(zhì)含量;特種氣體則采用 “低溫吸附 + 精餾” 工藝,確保純度與穩(wěn)定性雙達(dá)標(biāo)。配備國際先進(jìn)的痕量雜質(zhì)檢測設(shè)備,包括 GC-MS 氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀、ICP-MS 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀等,可檢測出 ppb-ppt 級別的微量雜質(zhì),每批次產(chǎn)品均經(jīng)過至少 3 次全項(xiàng)檢測,確保純度達(dá)標(biāo)。建立 1000㎡超潔凈生產(chǎn)車間,車間潔凈度達(dá) Class 100 級,避免生產(chǎn)過程中氣體污染,提純設(shè)備采用自動(dòng)化控制系統(tǒng),操作精度達(dá) ±0.01%,實(shí)現(xiàn)全年 365 天連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn),氣體純度波動(dòng)范圍≤0.05%,為下游制造行業(yè)提供可靠的純度保障。超高純磷烷純度達(dá) 99.999%,是芯片制造中 N 型摻雜的重心氣體。

上海彌正率先采用 100% 綠電(光伏與風(fēng)電)驅(qū)動(dòng)的電解水制氫工藝,生產(chǎn)超高純氫氣(6N 級純度),實(shí)現(xiàn)從生產(chǎn)源頭的低碳化,助力客戶達(dá)成 “雙碳” 目標(biāo)。該工藝以純水為原料,通過可再生能源發(fā)電進(jìn)行電解,全程無化石燃料消耗,每立方米氫氣的碳足跡較傳統(tǒng)工藝降低 95% 以上,完全符合清潔能源發(fā)展趨勢。經(jīng)膜分離與催化脫氧組合提純后,氫氣純度穩(wěn)定在 99.9999%,雜質(zhì)含量≤1ppb,不僅可作為燃料電池汽車的重心燃料,為氫能交通提供動(dòng)力,也可廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體等行業(yè)的綠色制造流程。建立 “生產(chǎn) - 使用 - 回收” 的閉環(huán)體系,為使用客戶配套氫氣回收與純化裝置,回收率可達(dá) 85%,回收后的氣體經(jīng)處理可再次達(dá)到超高純標(biāo)準(zhǔn)循環(huán)使用。某新能源汽車企業(yè)應(yīng)用該綠電制氫產(chǎn)品后,其燃料電池系統(tǒng)的碳排放量降低 60%,獲得歐盟 “綠色氫能” 認(rèn)證;某光伏企業(yè)將其用于多晶硅還原,年碳排放減少 1.2 萬噸,成功入選綠色工廠名單。超高純氨氣純度達(dá) 99.999%,用于 LED 芯片制造與光伏電池鈍化。江蘇丙烯超高純氣體香精香料
超高純氪氣(純度 99.999%)適配紅外探測器制造,提升傳感靈敏度。1-丁烯超高純氣體檢測分析
上海彌正超高純六氟化鎢(6N 級純度),是半導(dǎo)體先進(jìn)制程中鎢金屬層沉積的重心前驅(qū)體,以 “高純度 + 低金屬雜質(zhì)” 助力芯片性能升級。采用化學(xué)合成與多級精餾提純工藝,將雜質(zhì)總量控制在 1ppm 以下,其中銅、鐵、鋁等金屬雜質(zhì)含量均≤0.1ppb,完全滿足 14nm 及以下邏輯芯片、3D NAND 閃存制造的工藝要求。在化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝中,它能精細(xì)地在晶圓表面沉積出均勻、致密的鎢金屬層,用于芯片的柵極、互連線及接觸孔填充,其純度直接決定了鎢層的導(dǎo)電性與可靠性,進(jìn)而影響芯片的運(yùn)行速度與壽命。配備耐腐蝕的特用包裝與輸送系統(tǒng),采用內(nèi)壁經(jīng)特殊鈍化處理的鎳合金氣瓶,防止氣體與容器發(fā)生反應(yīng)導(dǎo)致污染,輸送管路采用無死腔設(shè)計(jì),確保氣體純凈度。某頭部晶圓制造企業(yè)應(yīng)用后,3D NAND 閃存的鎢層沉積均勻性提升至 99.5%,芯片數(shù)據(jù)存儲(chǔ)密度提高 15%,良率提升 2.2%,有力支撐了企業(yè)在先進(jìn)存儲(chǔ)領(lǐng)域的技術(shù)競爭力。1-丁烯超高純氣體檢測分析
上海彌正氣體有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡,一群有夢想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地,繪畫新藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽(yù),信奉著“爭取每一個(gè)客戶不容易,失去每一個(gè)用戶很簡單”的理念,市場是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團(tuán)結(jié)一致,共同進(jìn)退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來上海彌正氣體供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來,即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn),才能繼續(xù)上路,讓我們一起點(diǎn)燃新的希望,放飛新的夢想!