中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對(duì) 10 級(jí)光刻潔凈區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、溫度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、濕度（45±2% RH，精度 ±1%）及相鄰區(qū)域壓差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm，可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過(guò)與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時(shí) 10 秒內(nèi)完成動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，助力 30 + 企業(yè)提升環(huán)境管理水平，樹(shù)立良好企業(yè)形象！深圳萬(wàn)級(jí)車間環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū)

中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中，推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動(dòng)方案。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)沉積區(qū)，部署超高精度監(jiān)測(cè)終端，同步檢測(cè) 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、沉積氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔體壓差（≥20Pa）。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù)，氣體純度響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，微粒檢測(cè)分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源，使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。深圳環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程中源綠凈為 75 + 禽蛋養(yǎng)殖場(chǎng)做環(huán)境監(jiān)測(cè)，蛋殼破損率降 8%，經(jīng)濟(jì)效益增！

中源綠凈在生物疫苗凍干潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了溫濕度 - 真空度 - 微生物多參數(shù)聯(lián)動(dòng)體系。應(yīng)用場(chǎng)景：疫苗凍干生產(chǎn)潔凈室。針對(duì) A 級(jí)凍干 區(qū)，采用每 1 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的超高密度布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)凍干艙內(nèi)溫度（-50~30℃，精度 ±0.2℃）、真空度（0~100Pa，精度 ±1Pa）、浮游菌濃度（每 20 分鐘采樣 1 次，檢測(cè)下限 0.5CFU/m3）及相鄰區(qū)域壓差（≥30Pa）。系統(tǒng)搭載的低溫 傳感器在 - 80℃環(huán)境下仍保持穩(wěn)定性能，數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過(guò)與凍干機(jī)控制系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)參數(shù)偏離工藝范圍時(shí) 5 秒內(nèi)觸發(fā)調(diào)節(jié)，使疫苗凍干合格率提升 35%。已在國(guó)藥中生、科興中維等企業(yè)應(yīng)用，符合 WHO 疫苗生產(chǎn)規(guī)范，環(huán)境數(shù)據(jù)追溯通過(guò)率 100%。

中源綠凈在電子元器件組裝無(wú)塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 氣流多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景：電子元器件無(wú)塵組裝車間。針對(duì) 1000 級(jí)組裝區(qū)，采用每 3 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 3 秒）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±10V）、氣流速度（0.2~0.4m/s，精度 ±0.02m/s）及溫濕度（溫度 20~25℃，濕度 40%~60% RH）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.3μm，配合非接觸式靜電傳感器，響應(yīng)時(shí)間均≤1 秒。通過(guò)與流水線聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部?jī)艋b置，使元器件焊接不良率下降 45%。已在華為終端、小米電子等企業(yè)應(yīng)用，符合 IPC-A-610 電子組件標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.91%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù)，使 25 + 牧場(chǎng)監(jiān)測(cè)更科學(xué)，牛奶合格率提 10%！

中源綠凈為制藥無(wú)菌潔凈區(qū)開(kāi)發(fā)的潔凈度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微生物與微粒的雙重監(jiān)測(cè)能力。應(yīng)用場(chǎng)景：制藥無(wú)菌制劑生產(chǎn)潔凈區(qū)。依據(jù) GMP 標(biāo)準(zhǔn)，在 A 級(jí)潔凈區(qū)部署每 1 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，同步監(jiān)測(cè)浮游菌（每 15 分鐘采樣 1 次，檢測(cè)下限 1CFU/m3）、沉降菌（每小時(shí)培養(yǎng) 1 次）及 0.5μm、5μm 微粒濃度。采用撞擊法與激光計(jì)數(shù)法雙技術(shù)路線，微生物檢測(cè)響應(yīng)時(shí)間從傳統(tǒng) 48 小時(shí)縮短至 24 小時(shí)，準(zhǔn)確率達(dá) 99.2%。系統(tǒng)具備與潔凈區(qū)空調(diào)系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)功能，參數(shù)異常時(shí) 30 秒內(nèi)觸發(fā)聲光報(bào)警并調(diào)節(jié)換氣次數(shù)，使藥液灌裝污染風(fēng)險(xiǎn)下降 65%。已在揚(yáng)子江藥業(yè)、齊魯制藥等企業(yè)應(yīng)用，通過(guò)國(guó)家藥監(jiān)局 GMP 認(rèn)證核查，潔凈度監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈為 20 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備租賃服務(wù)，降低企業(yè)設(shè)備采購(gòu)成本！蘇州手持式環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備，幫 25 + 調(diào)味品廠發(fā)酵監(jiān)測(cè)，風(fēng)味穩(wěn)定性提 12%！深圳萬(wàn)級(jí)車間環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū)

中源綠凈為精密儀器裝配無(wú)塵車間定制的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，強(qiáng)化了微振動(dòng)與潔凈度的協(xié)同監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景：精密儀器無(wú)塵裝配車間。針對(duì) 100 級(jí)裝配區(qū)，部署高精度監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min）、環(huán)境振動(dòng)（頻率 1~1000Hz，精度 ±0.001mm/s）、空氣潔凈度等級(jí)及溫濕度。采用壓電式振動(dòng)傳感器，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，可捕捉微米級(jí)振動(dòng)信號(hào)。通過(guò)振動(dòng)源定位算法，提前預(yù)警設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo)，使儀器裝配精度（公差≤0.001mm）達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 10110 光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。深圳萬(wàn)級(jí)車間環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū)