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奈米定位平臺系列TOYO機(jī)器人直線電機(jī)

來源: 發(fā)布時間:2024-11-11

TOYO電動缸介紹

TOYO電動缸分為伺服電動缸、步進(jìn)電動缸以及電夾爪三種系列。可搭配我司自主研發(fā)的驅(qū)動器:TC100、XC100使用,支持IO控制、脈沖控制以及RS485通訊控制,如果需要使用EtherCAT控制,可選配TC100E、XC100E。

TOYO電動缸產(chǎn)品系列齊全,是替代氣缸的優(yōu)先選擇。

TOYO電動缸產(chǎn)品系列有:步進(jìn)電動缸(CGTH系列、CGTY系列、CGCH系列、CGCY系列),伺服電動缸(DGTH系列、DGTY系列、DM系列),微型電動缸(CS系列),高剛性微型電動缸(CSG系列)。

TOYO電夾爪產(chǎn)品系列:CH系列(CHZ\CHB\CHS\CHG\CHY)。 TOYO機(jī)器人,準(zhǔn)確高效,應(yīng)用于工業(yè)制造,提升生產(chǎn)效率。奈米定位平臺系列TOYO機(jī)器人直線電機(jī)

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在半導(dǎo)體行業(yè),直線電機(jī)因其高精度、高速度、高加速度和長行程等特點,被廣泛應(yīng)用于多個制造和加工環(huán)節(jié)。以下是一些具體的應(yīng)用場景:

晶圓制造:①晶圓切割:直線電機(jī)用于晶圓切割機(jī)的精確控制,確保晶圓切割的精度和效率。②晶圓清洗:在晶圓清洗設(shè)備中,直線電機(jī)用于控制清洗頭的運(yùn)動,以實現(xiàn)均勻清洗。

光刻:①光刻機(jī):直線電機(jī)用于光刻機(jī)的曝光系統(tǒng),精確控制掩模對晶圓的定位和曝光,以實現(xiàn)微米級甚至納米級的圖案轉(zhuǎn)移。

硅片加工:①蝕刻機(jī):直線電機(jī)用于蝕刻機(jī)的硅片傳輸和定位,確保蝕刻過程的高精度。②離子注入:在離子注入機(jī)中,直線電機(jī)用于精確控制離子束對晶圓的注入角度和位置。

芯片封裝:①芯片貼裝:直線電機(jī)用于芯片貼裝機(jī),精確地將芯片放置到引線框架或基板上。②打線機(jī):在打線機(jī)中,直線電機(jī)用于精確控制打線頭,將金線或銅線連接到芯片的焊盤上。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手系列TOYO機(jī)器人智能化的TOYO機(jī)器人,開啟工業(yè)自動化新篇章。

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直線電機(jī)是一種將電能直接轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動機(jī)械能的電機(jī),而不需要通過齒輪、皮帶等傳動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)換。它的基本原理與傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)相似,但運(yùn)動形式不同,可以簡單的把直線電機(jī)看成將旋轉(zhuǎn)電機(jī)劈開并展開。以下是直線電機(jī)的主要原理介紹:1、結(jié)構(gòu)組成直線電機(jī)主要由以下幾個部分組成:初級線圈:產(chǎn)生磁場,通常固定不動。次級線圈(或磁軌):產(chǎn)生感應(yīng)電流或與初級線圈相互作用,通常安裝在運(yùn)動部件上。導(dǎo)軌:用于支撐和導(dǎo)向運(yùn)動部件。2、工作原理直線電機(jī)的工作原理基于電磁感應(yīng)定律和洛倫茲力定律:電磁感應(yīng):當(dāng)初級線圈通以交流電時,會在周圍空間產(chǎn)生變化的磁場。洛倫茲力:這個變化的磁場會在次級線圈(或磁軌)中產(chǎn)生感應(yīng)電流,進(jìn)而產(chǎn)生與初級線圈磁場相互作用的力,這個力使得次級線圈沿著導(dǎo)軌做直線運(yùn)動。

TOYO 直線電機(jī)可分為:有鐵芯平板型直線電機(jī)、無鐵芯U型直線電機(jī)、軸棒型直線電機(jī)。

有鐵芯平板型直線電機(jī)分為:G系列與一般系列;

G系列:速度可達(dá):2500mm/s,水平負(fù)載:3-20KG,行程可達(dá):2520mm,精度:±1~2μ。

一般系列:速度可達(dá):2500mm/s,水平負(fù)載:20-120KG,行程可達(dá):8000mm,精度:±1~2μ。

無鐵芯U型直線電機(jī):速度可達(dá):2500mm/s,水平負(fù)載:4-15KG,行程可達(dá):1290mm,精度:±1~2μ。

軸棒型直線電機(jī):速度可達(dá):2500mm/s,水平負(fù)載:15-51KG,行程可達(dá):1940mm,精度:±1~2μ。 TOYO模組支持染黑處理,廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)。

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電動夾爪(電夾爪)和氣動夾爪(氣夾爪)在自動化和機(jī)器人應(yīng)用中都是常用的夾持設(shè)備,但它們在操作原理、性能和應(yīng)用上存在一些主要區(qū)別:1、操作原理的區(qū)別:電動夾爪:通過電動機(jī)驅(qū)動,通常配合伺服系統(tǒng)或步進(jìn)電機(jī)來實現(xiàn)精確的位置和力度控制。氣動夾爪:通過壓縮空氣驅(qū)動,利用氣缸的伸縮來實現(xiàn)夾持動作。2、控制和精度的區(qū)別:電動夾爪:可以提供非常精確的位置控制,力度調(diào)節(jié)范圍廣,且可以通過編程來設(shè)定特定的運(yùn)動軌跡和力度。氣動夾爪:控制精度相對較低,力度調(diào)節(jié)不如電動夾爪靈活,通常只能通過調(diào)節(jié)氣壓來控制夾持力度。3、響應(yīng)速度的區(qū)別:電動夾爪:響應(yīng)速度較快,但通常不如氣動夾爪快。氣動夾爪:響應(yīng)速度快,適合需要快速動作的應(yīng)用。4、負(fù)載能力的區(qū)別:電動夾爪:負(fù)載能力取決于電動機(jī)和傳動系統(tǒng)的設(shè)計,可能不如氣動夾爪適合重負(fù)載應(yīng)用。氣動夾爪:可以提供較大的夾持力,適合重負(fù)載場合。5、環(huán)境適應(yīng)性的區(qū)別:-電動夾爪:可以在多種環(huán)境下工作,包括無塵室和危險區(qū)域,因為它們不依賴于壓縮空氣系統(tǒng)。氣動夾爪:需要壓縮空氣供應(yīng),可能在無塵室或危險區(qū)域使用時需要額外的措施。TOYO無塵系列模組可做到百級無塵!直角坐標(biāo)系機(jī)械手系列TOYO機(jī)器人

科技感十足的TOYO機(jī)器人,助力企業(yè)邁向智能化未來。奈米定位平臺系列TOYO機(jī)器人直線電機(jī)

TOYO模組特注碼介紹:TOYO標(biāo)準(zhǔn)特注碼有外拉式注油嘴位置(NL注油嘴在滑座左側(cè)、NR注油嘴在滑座右側(cè)、NRL滑座兩側(cè)都有注油嘴)、標(biāo)準(zhǔn)PIN孔/銷釘孔(P標(biāo)準(zhǔn)PIN孔)、外觀染黑處理(EB)、電機(jī)傳動配件追加鍵槽(CMK馬達(dá)側(cè)單邊:聯(lián)軸器、皮帶輪加鍵槽;SKY雙邊聯(lián)軸器加鍵槽,轉(zhuǎn)折模組不適用,需要非標(biāo);SKN雙邊:不帶聯(lián)軸器)。

以上是模組標(biāo)準(zhǔn)特注碼,除此之外,模組還能對滑座進(jìn)行非標(biāo):雙滑座(同向同動/反向同動)、滑座加長;電機(jī)法蘭座工廠也會根據(jù)客戶使用的電機(jī)品牌進(jìn)行非標(biāo)處理。

本體/滑座工廠基本不會接受特殊定制。 奈米定位平臺系列TOYO機(jī)器人直線電機(jī)

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