多層復合材料因具有重量輕、強度高、耐腐蝕等優異性能，被廣泛應用于航空航天、汽車制造、電子設備等領域。然而，在材料制備或使用過程中，層間易出現剝離、氣泡、雜質等缺陷，這些缺陷會嚴重影響材料的力學性能和使用壽命。分層超聲顯微鏡專門針對多層復合材料的檢測需求設計，其主要技術在于能夠精細控制超聲波束的聚焦深度，依次對復合材料的每一層進行掃描檢測，并通過分析不同層界面的超聲信號特征，區分各層的界面狀態。當檢測到層間存在剝離缺陷時，超聲波在剝離界面會產生強烈的反射信號，設備通過信號處理可在成像結果中清晰標注缺陷位置和大小；對于層間氣泡，由于氣泡與材料的聲阻抗差異較大，會形成明顯的信號異常，同樣能夠被精細檢測。通過分層超聲顯微鏡的檢測，可及時發現多層復合材料的內部缺陷，指導生產工藝優化，同時為材料的質量評估和壽命預測提供可靠依據，保障其在實際應用中的性能穩定。超聲顯微鏡用途普遍，促進科研進步。上海水浸式超聲顯微鏡工作原理

Wafer 晶圓是半導體芯片制造的主要原材料，其表面平整度、內部電路結構完整性直接決定芯片的性能和良率。Wafer 晶圓顯微鏡整合了高倍率光學成像與超聲成像技術，實現對晶圓的各個方面檢測。在晶圓表面檢測方面，高倍率光學系統的放大倍率可達數百倍甚至上千倍，能夠清晰觀察晶圓表面的劃痕、污漬、微粒等微小缺陷，這些缺陷若不及時清理，會在后續的光刻、蝕刻等工藝中影響電路圖案的精度。在晶圓內部電路結構檢測方面，超聲成像技術發揮重要作用，通過發射高頻超聲波，可穿透晶圓表層，對內部的電路布線、摻雜區域、晶格缺陷等進行成像檢測。例如在晶圓制造的中后段工藝中，利用 Wafer 晶圓顯微鏡可檢測電路層間的連接狀態，判斷是否存在斷線、短路等問題。通過這種各個方面的檢測方式，Wafer 晶圓顯微鏡能夠幫助半導體制造商在晶圓生產的各個環節進行質量管控，及時剔除不合格晶圓，降低后續芯片制造的成本損失，提升整體生產良率。浙江裂縫超聲顯微鏡檢測空洞超聲顯微鏡內置缺陷數據庫，可自動比對檢測結果與行業標準（如 IPC 標準），生成合規性報告。

傳統超聲檢測設備的探頭通常為單陣元，檢測時需通過機械移動調整波束方向，面對復雜結構件（如具有曲面、多通道的工業部件）時，不僅操作繁瑣，還易出現檢測盲區。相控陣超聲顯微鏡則采用多陣元探頭設計，每個陣元可自主控制發射超聲信號的相位與幅度。通過預設的相位控制算法，設備能靈活調整超聲波束的偏轉角度與聚焦深度，無需頻繁移動探頭即可覆蓋檢測區域。例如在航空航天領域檢測發動機葉片的內部結構時，相控陣超聲顯微鏡可通過波束偏轉，一次性完成對葉片曲面不同位置的檢測，同時通過動態聚焦保證各檢測點的成像分辨率。這種技術特性使其檢測效率相較于傳統設備提升 3 - 5 倍，同時有效減少檢測盲區，提升檢測準確性。

在半導體制造領域，封裝質量直接決定芯片的可靠性與使用壽命，而內部微小缺陷如空洞、裂紋等往往難以用常規光學設備檢測。SAM 超聲顯微鏡（掃描聲學顯微鏡）的主要優勢在于其高頻超聲探頭，通常工作頻率可達幾十兆赫茲甚至上百兆赫茲。高頻超聲波能夠穿透半導體封裝材料，當遇到不同介質界面（如芯片與基板的結合面）時，會產生反射、折射等信號差異。設備通過接收并分析這些信號，轉化為高分辨率的灰度或彩色圖像，清晰呈現內部結構。對于芯片與基板間的空洞缺陷，即使尺寸只為微米級，SAM 超聲顯微鏡也能精細識別，幫助工程師及時發現封裝工藝中的問題，避免因空洞導致的散熱不良、信號傳輸受阻等隱患，保障半導體器件的穩定運行。斷層超聲顯微鏡揭示材料內部的斷層結構。

斷層超聲顯微鏡憑借聲波時間延遲分析與分層掃描技術，在 IC 芯片微觀缺陷定位中展現出獨特優勢。其工作流程為：通過聲透鏡將聲波聚焦于芯片不同深度層面（如錫球層、填膠層、Die 接合面），利用各層面反射信號的時間差構建三維圖像，缺陷區域因聲阻抗突變會產生異常灰度信號。例如在檢測功率器件 IGBT 時，它能精細定位錫球與 Pad 之間的虛焊、填膠中的微小孔洞及晶圓傾斜等問題，甚至可量化缺陷面積與深度。這種精細定位能力解決了傳統檢測中 “知有缺陷而不知位置” 的難題，為芯片修復與制程優化提供了精確的數據支撐。鉆孔式超聲顯微鏡通過鉆孔進行深層缺陷檢測。江蘇孔洞超聲顯微鏡核查記錄

半導體超聲顯微鏡具備抗振動設計，能在晶圓制造車間的多設備運行環境中保持檢測數據穩定性。上海水浸式超聲顯微鏡工作原理

相控陣超聲顯微鏡的技術升級方向正朝著 “陣列化 + 智能化” 發展，其多元素換能器與全數字波束形成技術為 AI 算法的應用奠定了基礎。在復合材料檢測中，傳統方法只能識別缺陷存在，而該設備可通過采集缺陷散射信號的振幅、相位等特性參數，結合 AI 模型進行深度學習訓練，實現對缺陷尺寸、形狀、性質的自動分類與定量評估。例如在航空航天復合材料焊接件檢測中，它能快速區分分層、夾雜物與裂紋等缺陷類型，并計算缺陷擴展風險，這種智能化分析能力不僅提升了檢測效率，還為材料可靠性評估提供了科學依據，推動無損檢測從 “定性判斷” 向 “定量預測” 轉變。上海水浸式超聲顯微鏡工作原理