以需求為原則,重新定義薄膜沉積裝備的價值
PVD Products 的磁控濺射系統不僅服務于基礎科研,還延伸至工業化生產領域。科睿設備有限公司作為 PVD Products 在國內官方授權合作伙伴,全權負責該品牌全系設備的國內銷售、方案定制、安裝調試與技術服務,將國際先進的磁控濺射技術引入國內市場。
公司在卷對卷沉積系統中集成的多道磁控濺射技術,已應用于高溫超導帶材的公里級生產。通過閉環張力控制和離子束輔助沉積技術的結合,該系統確保柔性金屬帶材在高速運行下保持形變控制和沉積均勻性,單機可處理 1 公里長的帶材。這一能力使得超導電力電纜、高磁場磁體等能源應用的材料成本明顯降低。依托雙方的深度合作,科睿設備有限公司可結合國內高溫超導產業的量產需求,提供整套卷對卷濺射產線規劃、現場集成與工藝優化服務,助力國內企業實現超導帶材規模化、低成本生產。
在薄膜沉積技術日益融合的趨勢下,PVD Products 將磁控濺射與其他沉積技術結合,開發出復合工藝系統。例如,在電子束蒸發系統中集成離子束輔助沉積模塊,使得設備能夠處理非標準形狀基底的復雜涂層需求。這種技術整合能力為客戶提供了一站式工藝解決方案,減少了多設備切換帶來的基底污染和工藝不連續性風險。
對于需要在極端真空條件下進行原位研究的應用場景,PVD Products 還開發了與同步輻射光束線聯用的磁控濺射系統,該系統已應用于德國 PETRA III 等大型科學裝置,支持薄膜生長過程的實時結構表征。
通過持續的技術創新和客戶需求響應,PVD Products 在磁控濺射領域建立了從組分篩選、外延生長到工業化生產的完整技術鏈條。其定制化設計理念和工程化實施能力,為材料科學研究和先進制造產業提供了可靠的工藝裝備支撐。
在全球薄膜沉積技術持續演進的背景下,這種以客戶痛點為導向的解決方案正在重新定義設備供應商的價值創造模式。未來,科睿設備將持續深化與 PVD Products 的合作,持續引進前沿薄膜沉積技術與裝備,聯動海內外技術資源,為國內薄膜沉積、高溫超導、半導體、新材料等領域的發展持續賦能。