廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜中襯底溫度異常偏高或偏低，會直接影響膜層結晶度、附著力與內應力，是常見工藝偏差。偏高易致膜層再蒸發、晶粒粗大或基片變形，偏低則結構疏松、應力高、易脫落。解決這一金屬表面處理難題，應先校準溫控儀與熱電偶，確保讀數準確；檢查加熱器功率、冷卻水流量及PID參數，防止過沖或滯后。其次驗證真空度與氣體流量，避免因壓升導致熱傳導異常；同時選用熱傳導均勻的載盤或碳化硅夾具，減小溫度梯度。若仍異常，可分段升溫、增設溫度緩沖板或實時補償模塊，將偏差控制在±3 ℃以內，從而穩定金屬表面處理質量，提高薄膜一致性與良品率

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