涂底方法:a、氣相成底膜的熱板涂底。HMDS蒸氣淀積,200~250C,30秒鐘;優點:涂底均勻、避免顆粒污染;b、旋轉涂底。缺點:顆粒污染、涂底不均勻、HMDS用量大。目的:使表面具有疏水性,增強基底表面與光刻膠的黏附性旋轉涂膠方法:a、靜態涂膠(Stati...
由測量系統、指示部分和表殼部分等組成。2.測量系統——由接頭,彈簧管和齒輪轉動機構等組成。3.由被測介質的壓力作用,使彈簧管的末端(自由端)相應地產生位移,借助連桿帶動機構中的扇形齒輪產生一角位移,而使齒輪軸得以偏轉——傳給指示部分。4.指示部分——由分度盤、...
光刻系統是一種用于半導體器件制造的精密科學儀器,是制備高性能光電子和微電子器件不可或缺的**工藝設備 [1] [6-7]。其技術發展歷經紫外(UV)、深紫外(DUV)到極紫外(EUV)階段,推動集成電路制程不斷進步 [3] [6]。當前**的EUV光刻系統已實...
此前人們認為該裝置是古希臘人使用的一種計算器,用來描繪天空中行星的運行軌跡,以幫助當時的人識別方向。然而,科學家們現在**了這部裝置表面破損的銘文后發現,它實際上是用來研究**的。安提基特拉機械裝置是其同時代的一個孤例。它憑一己之力改寫了我們對古希臘技術的認知...
所有實際電子束曝光、顯影后圖形的邊緣要往外擴展,這就是所謂的“電子束鄰近效應。同時,半導體基片上如果有絕緣的介質膜,電子通過它時也會產生一定量的電荷積累,這些積累的電荷同樣會排斥后續曝光的電子,產生偏移,而不導電的絕緣體(如玻璃片)肯定不能采用電子束曝光。還有...
能強調前景和突出遠近對比。這是廣角鏡頭的另一個重要性能。所謂強調前景和突出遠近對比,是指廣角鏡頭能比其他鏡頭更加強調近大遠小的對比度。也就是說,用廣角鏡頭拍出來的照片,近的東西更大,遠的東西更小,從而讓人感到拉開了距離,在縱深方向上產生強烈的******效果。...
至少有一個阿基米德制造的儀器相當類似安提基特拉機械,而且直到大約西元前150年仍在使用。西塞羅提到的任何一個儀器或許并不是在沉船中找到的安提基特拉機械,因為阿基米德的設計和西塞羅所提的都是在預測的船沉日期之后至少30年的羅馬,而且第三個儀器幾乎確定在當時是在波...
商用或家用數碼相機的鏡頭,部分廠家采用了相對比較好的鏡頭。富士相機采用了170線/毫米解析度的專業富士龍鏡頭,這種內置的新型富士龍鏡頭比大多數SLR鏡頭更清晰。不僅在精度上保證了圖象拍攝的品質,而且其鏡頭錯誤率也達到令人驚異的0.3%, 較一般的數碼相機低2/...
f/光圈數和光圈大小調定在某一f/光圈數時的任何種類的鏡頭能夠透射過幾乎相同 光量的影象,因為光闌直徑直接與焦距相關,例如,一只80毫米的鏡頭在使用5毫米的光闌直徑時,光圈必定調節在f/16上。因此鏡頭的焦距在除以光闌直徑后,就得到相應的f/光圈數。焦距標記調...
決定光刻膠涂膠厚度的關鍵參數:光刻膠的黏度(Viscosity),黏度越低,光刻膠的厚度越薄;旋轉速度,速度越快,厚度越薄;影響光刻膠均勻性的參數:旋轉加速度,加速越快越均勻;與旋轉加速的時間點有關。一般旋涂光刻膠的厚度與曝光的光源波長有關(因為不同級別的曝光...
魚眼鏡頭的體積較大。以適用于35毫米單鏡頭反光照相機的魚眼鏡頭為例,當將這種魚眼鏡頭安裝在體積較小的35毫米單鏡頭反光照相機機身上時,有一種“頭(鏡頭)大身體(機身)小”的感覺,且由于魚眼鏡頭重量不輕(如尼柯爾6毫米/F2.8手動對焦魚眼鏡頭重達5200克),...
德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯經過前人數十年為了了解該裝置的研究后,1951年英國科學歷史學家德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯對該機械進行了系統性研究。普萊斯以標題“時鐘以前的發條裝置”(Clockwork before the Clock)和“發條裝置的由來”(O...
使用長焦鏡頭拍攝時,測光比較好采用機內TTL測光方式。因為,普通的入射式或反射式測光表的受光角往往大于鏡頭視角,直接按測光表數值曝光會出現偏差 [6]。1、使用較高快門速度高速快門可以降低或避免相機抖動造成的圖像發虛。尤其是手持相機時,應首先考慮通過提高快門速...
此前人們認為該裝置是古希臘人使用的一種計算器,用來描繪天空中行星的運行軌跡,以幫助當時的人識別方向。然而,科學家們現在**了這部裝置表面破損的銘文后發現,它實際上是用來研究**的。安提基特拉機械裝置是其同時代的一個孤例。它憑一己之力改寫了我們對古希臘技術的認知...
后烘方法:熱板,110~130C,1分鐘。目的:a、減少駐波效應;b、激發化學增強光刻膠的PAG產生的酸與光刻膠上的保護基團發生反應并移除基團使之能溶解于顯影液。顯影方法:a、整盒硅片浸沒式顯影(Batch Development)。缺點:顯影液消耗很大;顯影...
邊緣光刻膠的去除光刻膠涂覆后,在硅片邊緣的正反兩面都會有光刻膠的堆積。邊緣的光刻膠一般涂布不均勻,不能得到很好的圖形,而且容易發生剝離(Peeling)而影響其它部分的圖形。所以需要去除。方法:a、化學的方法(Chemical EBR)。軟烘后,用PGMEA或...
EUV光刻技術的發展能否趕得上集成電路制造技術的要求?這仍然是一個問題。當然,EUV光刻技術的進步也是巨大的。截止2016年,用于研發和小批量試產的EUV光刻機,已經被安裝在晶圓廠,并投入使用 [1]。EUV光刻所能提供的高分辨率已經被實驗所證實。光刻機供應商...
準分子光刻技術作為當前主流的光刻技術,主要包括:特征尺寸為0.1μm的248 nm KrF準分子激光技術;特征尺寸為90 nm的193 nm ArF準分子激光技術;特征尺寸為65 nm的193 nm ArF浸沒式技術(Immersion,193i)。其中193...
德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯經過前人數十年為了了解該裝置的研究后,1951年英國科學歷史學家德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯對該機械進行了系統性研究。普萊斯以標題“時鐘以前的發條裝置”(Clockwork before the Clock)和“發條裝置的由來”(O...
制造掩模版,比較靈活。但由于其曝光效率低,主要用于實驗室小樣品納米制造。而電子束曝光要適應大批量生產,如何進一步提高曝光速度是個難題。為了解決電子束光刻的效率問題,通常將其與其他光刻技術配合使用。例如為解決曝光效率問題,通常采用電子束光刻與光學光刻進行匹配與混...
前方的轉盤可能至少有三個指針,***個指針指示日期,另外兩個則分別指示太陽和月球位置。月球的指針已被調整過**月球軌道的變化,因此相信太陽的指針也有過類似的調整,但相關機制的齒輪(如有)已經不存。前方轉盤的第二個功能則是有一個月球的球形,做為月相指示。該機械上...
已找到一個制造于5或6世紀拜占庭帝國,和一個日晷相連接的日期齒輪的殘骸;該儀器可能是做為報時輔助。在**世界中,西元9世紀早期阿拉伯帝國的哈里發委托巴努·穆薩寫下的《巧妙設備之書》(Book of Ingenious Devices,暫譯)。該書描述了超過一百...
遠攝鏡頭也稱為長焦距鏡頭,是指比標準鏡頭的焦距長的攝影鏡頭。長焦距鏡頭分為普通遠攝鏡頭和超遠攝鏡頭兩類,普通遠攝鏡頭的焦距長度接近標準鏡頭,而超遠攝鏡頭的焦距卻遠遠大于標準鏡頭。遠攝鏡頭是攝影輔助鏡頭的一種。鏡頭主焦距***地大于底片對角線長度(即大于標準鏡頭...
EUV光刻系統的發展歷經應用基礎研究至量產四個階段,其突破得益于多元主體協同創新和全產業鏈資源整合 [3]。截至2024年12月,EUV技術已應用于2nm芯片量產,但仍需優化光源和光刻膠性能。下一代技術如納米壓印和定向自組裝正在研發中 [6]。**光刻系統主要...
攝影者也許會有這樣的體會:在照相機上裝上一個遠攝鏡頭并從單鏡頭反光照相機取景器中觀察,竟一時無法想象充盈于取景器畫面的景象在何方位,不得已,只好將眼睛離開照相機取景目鏡眺望實景,方搞清楚原來是鏡頭視野太窄,它所“見”到的只是人眼通常所見到的畫面中相當小的一部分...
善的評價莫過于MTF (Modulation Transfer Function)。但是由于像差(標定的原因),鏡頭的每個范圍都有一個MTF值。這些范圍指的是:(1)近軸部分,(2)離軸部分,(3)當光學系統存在不對稱畸變時,上述兩部分在不同方向上的子部分。每...
定焦鏡頭(prime lens)是指只有一個固定焦距的鏡頭,沒有焦段一說,或者說只有一個視野。定焦鏡頭沒有變焦功能。 [1]定焦鏡頭的設計相對變焦鏡頭而言要簡單得多,但一般變焦鏡頭在變焦過程中對成像會有所影響,而定焦鏡頭相對于變焦機器的比較大好處就是對焦速度快...
攝影者也許會有這樣的體會:在照相機上裝上一個遠攝鏡頭并從單鏡頭反光照相機取景器中觀察,竟一時無法想象充盈于取景器畫面的景象在何方位,不得已,只好將眼睛離開照相機取景目鏡眺望實景,方搞清楚原來是鏡頭視野太窄,它所“見”到的只是人眼通常所見到的畫面中相當小的一部分...
手動光圈變焦鏡頭焦距可變的,有一個焦距調整環,可以在一定范圍內調整鏡頭的焦距,其可變比一般為2 ~3倍,焦距一般為3.6~8mm。實際應用中,可通過手動調節鏡頭的變焦環,可以方便地選擇被監視地市場的市場角。但是當攝像機安裝位置固定下以后,在頻繁地手動調整變焦是...
英特爾高級研究員兼技術和制造部先進光刻技術總監YanBorodovsky在去年說過“針對未來的IC設計,我認為正確的方向是具有互補性的光刻技術。193納米光刻是當前能力**強且**成熟的技術,能夠滿足精確度和成本要求,但缺點是分辨率低。利用一種新技術作為193...