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工程塑料如何提升銅箔生產(chǎn)質(zhì)量,常見應(yīng)用分享
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目 前EUV技 術(shù) 采 用 的 曝 光 波 長 為13.5nm,由于其具有如此短的波長,所有光刻中不需要再使用光學(xué)鄰近效應(yīng)校正(OPC)技術(shù),因而它可以把光刻技術(shù)擴(kuò)展到32nm以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)。2009年9月Intel*** 次 向 世 人 展 示 了22 nm工...
由于193nm沉浸式工藝的延伸性非常強(qiáng),同時(shí)EUV技術(shù)耗資巨大進(jìn)展緩慢。EUV(極紫外線光刻技術(shù))是下一代光刻技術(shù)(<32nm節(jié)點(diǎn)的光刻技術(shù))。它是采用波長為13.4nm的軟x射線進(jìn)行光刻的技術(shù)。EUV光刻的基本設(shè)備方面仍需開展大量開發(fā)工作以達(dá)到適于量產(chǎn)的成熟...
制造掩模版,比較靈活。但由于其曝光效率低,主要用于實(shí)驗(yàn)室小樣品納米制造。而電子束曝光要適應(yīng)大批量生產(chǎn),如何進(jìn)一步提高曝光速度是個(gè)難題。為了解決電子束光刻的效率問題,通常將其與其他光刻技術(shù)配合使用。例如為解決曝光效率問題,通常采用電子束光刻與光學(xué)光刻進(jìn)行匹配與混...
特點(diǎn)長焦鏡頭以適用于35毫米單鏡頭反光照相機(jī)的交換鏡頭為例,遠(yuǎn)攝鏡頭通常是指焦距約在80至400毫米之間的攝影鏡頭。遠(yuǎn)攝鏡頭**基本的特點(diǎn)是,鏡頭視角小,所以視野范圍相對(duì)狹窄;能把遠(yuǎn)處的景物拉近,使之充滿畫面,具有“望遠(yuǎn)”的功能,從而使景物的遠(yuǎn)近感消失;縮短了...
得指出的是,EUV光刻技術(shù)的研發(fā)始于20世紀(jì)80年代。**早希望在半周期為70nm的節(jié)點(diǎn)(對(duì)應(yīng)邏輯器件130nm節(jié)點(diǎn))就能用上EUV光刻機(jī) [1]。可是,這一技術(shù)一直達(dá)不到晶圓廠量產(chǎn)光刻所需要的技術(shù)指標(biāo)和產(chǎn)能要求。一拖再拖,直到2016年,EUV光刻機(jī)仍然沒能...
EUV光刻技術(shù)的發(fā)展能否趕得上集成電路制造技術(shù)的要求?這仍然是一個(gè)問題。當(dāng)然,EUV光刻技術(shù)的進(jìn)步也是巨大的。截止2016年,用于研發(fā)和小批量試產(chǎn)的EUV光刻機(jī),已經(jīng)被安裝在晶圓廠,并投入使用 [1]。EUV光刻所能提供的高分辨率已經(jīng)被實(shí)驗(yàn)所證實(shí)。光刻機(jī)供應(yīng)商...
邊緣光刻膠的去除光刻膠涂覆后,在硅片邊緣的正反兩面都會(huì)有光刻膠的堆積。邊緣的光刻膠一般涂布不均勻,不能得到很好的圖形,而且容易發(fā)生剝離(Peeling)而影響其它部分的圖形。所以需要去除。方法:a、化學(xué)的方法(Chemical EBR)。軟烘后,用PGMEA或...
至少有一個(gè)阿基米德制造的儀器相當(dāng)類似安提基特拉機(jī)械,而且直到大約西元前150年仍在使用。西塞羅提到的任何一個(gè)儀器或許并不是在沉船中找到的安提基特拉機(jī)械,因?yàn)榘⒒椎碌脑O(shè)計(jì)和西塞羅所提的都是在預(yù)測的船沉日期之后至少30年的羅馬,而且第三個(gè)儀器幾乎確定在當(dāng)時(shí)是在波...
魚眼鏡頭通常采用內(nèi)置濾光鏡的方式,根據(jù)拍攝需要,由攝影者操縱鏡頭上的濾光鏡轉(zhuǎn)換環(huán),使需要的濾光鏡轉(zhuǎn)換至鏡頭的攝影光路中。魚眼鏡頭的前鏡片是整個(gè)鏡頭中相當(dāng)重要的鏡片,由于它向鏡頭前部拋出,故攝影者在拍攝操作(尤其是湊近被攝物拍攝)時(shí)要特別注意不要碰撞鏡片。另外,...
22、壓料檻壓料檻是斷面呈矩形的壓料筋特稱。參閱“壓料筋”。23、承料板承料板是用于接長凹模上平面,承托沖壓材料的板狀零件。24、連續(xù)模連續(xù)模是具有兩個(gè)或更多工位的沖模,材料隨壓力機(jī)行程逐次送進(jìn)一工位,從而使沖件逐步成形。25、側(cè)刃側(cè)刃是在條(帶、卷)料側(cè)面切...
校準(zhǔn)的基本要求校準(zhǔn)應(yīng)滿足的基本要求如下:1.環(huán)境條件校準(zhǔn)如在檢定(校準(zhǔn))室進(jìn)行,則環(huán)境條件應(yīng)滿足實(shí)驗(yàn)室要求的溫度、濕度等規(guī)定。校準(zhǔn)如在現(xiàn)場進(jìn)行,則環(huán)境條件以能滿足儀表現(xiàn)場使用的條件為準(zhǔn)。2.儀器作為校準(zhǔn)用的標(biāo)準(zhǔn)儀器其誤差限應(yīng)是被校表誤差限的1/3~1/10。3...
基于更多暫定的觀察結(jié)果,萊特也認(rèn)為儀器后面下方的轉(zhuǎn)盤是計(jì)算交點(diǎn)月,是用來預(yù)測日月食的。所有的研究結(jié)果都已經(jīng)納入萊特的模式,并且可制造一個(gè)擁有以上機(jī)制的機(jī)器并成功運(yùn)作。盡管有高分辨率的線性斷層掃描造影,萊特仍然無法將所有已知的齒輪調(diào)整進(jìn)一個(gè)單一的機(jī)制,這使得他更...
邊緣光刻膠的去除光刻膠涂覆后,在硅片邊緣的正反兩面都會(huì)有光刻膠的堆積。邊緣的光刻膠一般涂布不均勻,不能得到很好的圖形,而且容易發(fā)生剝離(Peeling)而影響其它部分的圖形。所以需要去除。方法:a、化學(xué)的方法(Chemical EBR)。軟烘后,用PGMEA或...
在拍攝廣闊的大場面時(shí),攝影者一般都依靠廣角鏡頭焦距短,表現(xiàn)的景物景深長的特點(diǎn),將從近到遠(yuǎn)的整個(gè)景物都納入清晰表現(xiàn)的范圍。此外,用廣角鏡頭拍攝時(shí),如果同時(shí)采用較小的光圈,則景物的景深就會(huì)變得更長。例如,攝影者用一個(gè)28毫米的廣角鏡頭拍攝,焦點(diǎn)對(duì)在約3米左右的被攝...
廣角鏡頭是一種焦距短于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、視角大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、焦距長于魚眼鏡頭、視角小于魚眼鏡頭的攝影鏡頭。廣角鏡頭又分為普通廣角鏡頭和超廣角鏡頭兩種。普通廣角鏡頭的焦距一般為38-24毫米,視角為60-84度;超廣角鏡頭的焦距為20-13毫米,視角為94-118度。由于...
b、堅(jiān)膜,以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護(hù)下表面的能力;c、進(jìn)一步增強(qiáng)光刻膠與硅片表面之間的黏附性;d、進(jìn)一步減少駐波效應(yīng)(Standing Wave Effect)。常見問題:a、烘烤不足(Underbake)。減弱光刻膠的強(qiáng)度(抗刻蝕能力和離子注入中的阻...
得指出的是,EUV光刻技術(shù)的研發(fā)始于20世紀(jì)80年代。**早希望在半周期為70nm的節(jié)點(diǎn)(對(duì)應(yīng)邏輯器件130nm節(jié)點(diǎn))就能用上EUV光刻機(jī) [1]。可是,這一技術(shù)一直達(dá)不到晶圓廠量產(chǎn)光刻所需要的技術(shù)指標(biāo)和產(chǎn)能要求。一拖再拖,直到2016年,EUV光刻機(jī)仍然沒能...
景深范圍隨著鏡頭對(duì)被攝體聚焦,可在固定參看符號(hào)兩邊尋找對(duì)應(yīng)于(或接近)己調(diào)定的光圈f/數(shù),辨認(rèn)焦距標(biāo)記下相對(duì)的數(shù)值,便可決定有效景深。景深的作用光圈大小的改變:通過相同焦距的鏡頭對(duì)相同距離的被攝體聚焦,該示說明光圈大小的調(diào)整是如何改變景深的。一般來說,被攝體的...
準(zhǔn)分子光刻技術(shù)作為當(dāng)前主流的光刻技術(shù),主要包括:特征尺寸為0.1μm的248 nm KrF準(zhǔn)分子激光技術(shù);特征尺寸為90 nm的193 nm ArF準(zhǔn)分子激光技術(shù);特征尺寸為65 nm的193 nm ArF浸沒式技術(shù)(Immersion,193i)。其中193...
西塞羅的著作《論共和國》,一本西元前一世紀(jì)的哲學(xué)對(duì)話錄,提及兩個(gè)現(xiàn)代被認(rèn)為是某種天象儀或太陽系儀的儀器,可以預(yù)測日月和五顆行星在天球的位置。這兩個(gè)儀器都是由阿基米德制造,在阿基米德于西元前212年的敘拉古圍城戰(zhàn)身亡后,這兩臺(tái)機(jī)器被羅馬將領(lǐng)馬庫斯·克勞迪烏斯·馬...
能使前后被攝物產(chǎn)生壓縮感。遠(yuǎn)攝鏡頭的另一個(gè)***的效果是將遠(yuǎn)處被攝體“拉近”,從而使前后被攝物產(chǎn)生被壓縮的感覺。在一些重大體育賽事中,成群的攝影記者往往架起大炮般的遠(yuǎn)攝鏡頭拍攝馬拉松賽跑起跑時(shí)運(yùn)動(dòng)員重重疊疊的場景,這是因?yàn)樵谶@種場合中,攝影者依賴遠(yuǎn)攝鏡頭遠(yuǎn)離被...
b、堅(jiān)膜,以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護(hù)下表面的能力;c、進(jìn)一步增強(qiáng)光刻膠與硅片表面之間的黏附性;d、進(jìn)一步減少駐波效應(yīng)(Standing Wave Effect)。常見問題:a、烘烤不足(Underbake)。減弱光刻膠的強(qiáng)度(抗刻蝕能力和離子注入中的阻...
6.齒輪傳動(dòng)箱上蓋拆卸,內(nèi)部機(jī)件磨損及鍵位松動(dòng)狀況之檢查并進(jìn)行油槽清洗,潤滑油換新及運(yùn)轉(zhuǎn)狀況,噪音,振動(dòng)測試檢查.7.傳動(dòng)系統(tǒng)各部位注油點(diǎn)之吐出油量及壓力測試與調(diào)整.8.離剎機(jī)構(gòu)之活塞動(dòng)作,剎車角度,離剎間隙及來令片磨耗量之測試點(diǎn)檢與必要調(diào)整.9.滑快導(dǎo)軌與導(dǎo)...
13.整機(jī)精度(垂直度,平行度,綜合間隙等)測試,必要時(shí)調(diào)整校正.14.沖床外觀及附件之清潔,檢點(diǎn)及機(jī)械腳(基礎(chǔ))固緊螺絲,螺帽之鎖緊及水平檢查必要時(shí)調(diào)整.15.潤滑給油系統(tǒng)之浦,管路閥等清潔保養(yǎng)及檢查.16.空氣系統(tǒng)之氣動(dòng)元件,管路等清潔保養(yǎng)及動(dòng)作測試檢查....
實(shí)際上,由于液體介質(zhì)的折射率相比空氣介質(zhì)更接近曝光透鏡鏡片材料的折射率,等效地加大了透鏡口徑尺寸與數(shù)值孔徑(NA),同時(shí)可以 ***提高焦深(DOF)和曝光工藝的寬容度(EL),浸沒式光 刻 技 術(shù) 正 是 利 用 這 個(gè) 原 理 來 提 高 其 分 辨率。世...
EUV光刻系統(tǒng)的發(fā)展歷經(jīng)應(yīng)用基礎(chǔ)研究至量產(chǎn)四個(gè)階段,其突破得益于多元主體協(xié)同創(chuàng)新和全產(chǎn)業(yè)鏈資源整合 [3]。截至2024年12月,EUV技術(shù)已應(yīng)用于2nm芯片量產(chǎn),但仍需優(yōu)化光源和光刻膠性能。下一代技術(shù)如納米壓印和定向自組裝正在研發(fā)中 [6]。**光刻系統(tǒng)主要...
在拍攝廣闊的大場面時(shí),攝影者一般都依靠廣角鏡頭焦距短,表現(xiàn)的景物景深長的特點(diǎn),將從近到遠(yuǎn)的整個(gè)景物都納入清晰表現(xiàn)的范圍。此外,用廣角鏡頭拍攝時(shí),如果同時(shí)采用較小的光圈,則景物的景深就會(huì)變得更長。例如,攝影者用一個(gè)28毫米的廣角鏡頭拍攝,焦點(diǎn)對(duì)在約3米左右的被攝...
世界上***部糾偏裝置,英文:Deviation rectifying device,是美塞斯的FIFE糾發(fā)明的,是糾偏裝置是電子糾偏系統(tǒng)的心臟。糾偏裝置是一種修正卷材在向前運(yùn)動(dòng)中出現(xiàn)的側(cè)邊誤差的機(jī)械裝置,位移式糾偏是通過更改卷材在進(jìn)口和出口跨度來實(shí)現(xiàn)卷材側(cè)邊...
更精確的齒輪齒數(shù)此時(shí)也已得知,因此可進(jìn)一步發(fā)展新的齒輪配置模式。更正確的資訊允許萊特可以確認(rèn)普萊斯建議的后方面板的上方轉(zhuǎn)盤是顯示235個(gè)朔望月,分成五個(gè)旋轉(zhuǎn)量度的默冬章。此外,萊特還提出了驚人的看法,他認(rèn)為儀器后面的上方轉(zhuǎn)盤是每次旋轉(zhuǎn)包含47個(gè)部分,總共五個(gè)旋...
廣角鏡頭又稱短鏡頭。攝影輔助鏡頭的一種。鏡頭焦距***地小于像場直徑(底片對(duì)角線長度),約為6~35毫米;視角大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭,約為53°以上直至220°。相對(duì)口徑一般較小。廣角透鏡在十九世紀(jì)六十年代快直光鏡頭出現(xiàn)后即產(chǎn)生,此后經(jīng)種種演變,已成攝影鏡頭中一個(gè)重要類...