氣浮平臺工作原理

基于空氣軸承技術：供氣系統：外部氣源（如潔凈的壓縮空氣）通過管道被精確地輸送到平臺底部的氣腔或多孔材料中。形成氣膜：壓縮空氣從這些氣孔中逸出，在平臺與底座之間的微小間隙中形成一層均勻、穩定的高壓氣膜。懸浮與承載：這層氣膜的壓力足以將平臺及其負載的重量支撐起來，實現非接觸懸浮。驅動與運動：平臺通常由直線電機或音圈電機驅動。由于平臺是懸浮狀態，沒有機械接觸帶來的摩擦，驅動系統可以非常平滑、精確地控制平臺進行微米甚至納米級的移動。 先進的TOYO機器人，適應多種生產環境，滿足企業需求。高精密TOYO機器人精品模組

在半導體行業，直線電機因其高精度、高速度、高加速度和長行程等特點，被廣泛應用于多個制造和加工環節。以下是一些具體的應用場景：晶圓制造：①晶圓切割：直線電機用于晶圓切割機的精確控制，確保晶圓切割的精度和效率。②晶圓清洗：在晶圓清洗設備中，直線電機用于控制清洗頭的運動，以實現均勻清洗。光刻：①光刻機：直線電機用于光刻機的曝光系統，精確控制掩模對晶圓的定位和曝光，以實現微米級甚至納米級的圖案轉移。硅片加工：①蝕刻機：直線電機用于蝕刻機的硅片傳輸和定位，確保蝕刻過程的高精度。②離子注入：在離子注入機中，直線電機用于精確控制離子束對晶圓的注入角度和位置。芯片封裝：①芯片貼裝：直線電機用于芯片貼裝機，精確地將芯片放置到引線框架或基板上。②打線機：在打線機中，直線電機用于精確控制打線頭，將金線或銅線連接到芯片的焊盤上。無塵TOYO機器人TOYO直線電機性能好。

TOYO機器人以其非凡的精度而聞名。在制造和裝配等任務中，能夠實現精確到毫米甚至更小的操作精度。這使得它在電子產品制造、精密機械加工等領域具有巨大優勢。例如，在手機電路板的組裝過程中，TOYO機器人可以準確地將微小的電子元件放置在特定位置，確保產品質量和性能。高速度也是TOYO機器人的一大特點。它能夠快速地完成各種動作，提高生產效率。在汽車制造行業，TOYO機器人可以在短時間內完成車身焊接、零部件安裝等任務，滿足大規模生產的需求。

TOYO奈米級空氣軸承平臺分為

空氣軸承單軸平臺：

    應用場景：半導體/高速移載取放料。有效行程400mm，加速度10G，重復精度＜1μm

空氣軸承龍門雙驅平臺：

    應用場景：PCB印刷電路板/DI曝光機。有效行程350mm×1200mm，速度1000mm/s，重復精度＜1μm。YAW＜3arc-sec，速度波動200mm/s＜0.2%

空氣軸承XYZ平臺：

    應用場景：半導體產業/微鉆孔精密加工。有效行程200×200×150mm，平面度＜5μm，重復精度＜1μm。

空氣軸承XYZθ平臺：

    應用場景：半導體/光罩檢查機。有效行程500×500mm，平面度＜5μm，VC-C抑震等級 TOYO模組產品種類豐富，交期好。

在光伏行業，隨著全球對清潔能源的需求日益增長，光伏產業迎來了快速發展的機遇期。TOYO 機器人為光伏行業提供了一系列高效的自動化系統集成方案。在硅片生產環節，硅片上料機是關鍵設備之一。TOYO 機器人在依靠視覺識別去抓取不同規格的硅片，并將其準確無誤地放置在生產設備的指定位置。在光伏組件的組裝過程中，TOYO 機器人可以高效地完成電池片的串焊、層壓等操作。通過精確的運動控制和溫度控制技術，它能夠保證電池片的焊接質量和組件的封裝效果，提高光伏組件的發電效率和可靠性。以某大型光伏企業為例，引入 TOYO 機器人后，光伏組件的生產效率提高了 40% 左右，生產成本降低了約 20%，有力地推動了企業的發展和光伏產業的升級。TOYO機器人，為工業自動化注入新活力。無塵TOYO機器人UL認證

TOYO機器人支持視覺引導系統，智能識別定位。高精密TOYO機器人精品模組

XC100驅動器的特點

支持IO控制、RS485控制、脈沖控制。

使用XC100驅動器時需搭配TOYO自研軟件TOYO-Single使用，可以通過該軟件控制軸運動、修改參數、設置點位、監控信號/數據。

使用XC100驅動器可支持不外接光電傳感器的情況下實現回零操作（通過扭力判斷是否到達原點），同時輸出回原完成信號。XC100驅動器可以通過軟件設置行程軟限位，限位到達會有限位報警（無法判斷正限位/負限位）。

XC100驅動器輸入點位有14個，輸出點位有10個，只支持NPN接線方式。XC100驅動器編碼器為增量式，斷電位置會丟失，每次斷電重啟需回原操作。

XC100可實現扭力控制，動作時達到設定的扭力即動作完成。XC100支持集電極控制與差分控制，集電極控制容易受干擾，建議使用差分控制。 高精密TOYO機器人精品模組