廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜設(shè)備運(yùn)行中報(bào)警“氣體流量異常”時(shí)，應(yīng)依次排查以下環(huán)節(jié)，確保金屬表面處理工藝連續(xù)穩(wěn)定。首先檢查氣源壓力是否達(dá)標(biāo)，鋼瓶減壓閥輸出一般設(shè)為0.2-0.3 MPa，壓力過(guò)低或過(guò)高都會(huì)觸發(fā)MFC保護(hù)；其次確認(rèn)質(zhì)量流量計(jì)(MFC)插頭無(wú)松動(dòng)、線纜無(wú)斷股，重新上電觀察零點(diǎn)漂移，必要時(shí)用標(biāo)準(zhǔn)氣體重新校準(zhǔn)或返廠標(biāo)定。隨后分段檢查氣路：關(guān)閉閥門后觀察真空度回升速率，可判斷過(guò)濾器、針閥或管道是否堵塞，發(fā)現(xiàn)污染立即更換濾芯并用無(wú)塵布蘸酒精擦拭管路內(nèi)壁。若使用混合氣體，需核對(duì)氣體種類與設(shè)定系數(shù)是否匹配，流量系數(shù)超出0.8-1.2范圍時(shí)按專利方法重新測(cè)定并修正流量值。檢查工藝設(shè)定是否超MFC量程，若設(shè)定流量>滿量程105%會(huì)觸發(fā)超量程報(bào)警，應(yīng)以量程上限為控制值并分路供氣。完成以上步驟后，復(fù)位運(yùn)行并記錄流量曲線，可將金屬表面處理異常報(bào)警率降至<1%，保障膜層均勻性與生產(chǎn)節(jié)拍。

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