國瑞熱控薄膜沉積**加熱盤以精細(xì)溫控助力半導(dǎo)體涂層質(zhì)量提升,采用鋁合金基體與陶瓷覆層復(fù)合結(jié)構(gòu),表面粗糙度Ra控制在0.08μm以內(nèi),減少薄膜沉積過程中的界面缺陷!加熱元件采用螺旋狀分布設(shè)計,配合均溫層優(yōu)化,使加熱面溫度均勻性達(dá)±0.5℃,確保薄膜厚度偏差小于5...
電控晶圓加熱盤:半導(dǎo)體工藝的準(zhǔn)確溫控重點!無錫國瑞熱控的電控晶圓加熱盤,以創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計解釋半導(dǎo)體制造的溫控難題!其底盤內(nèi)置螺旋狀發(fā)熱電纜與均溫膜,通過熱量傳導(dǎo)路徑優(yōu)化,使加熱面均溫性達(dá)到行業(yè)高標(biāo)準(zhǔn),確保晶圓表面溫度分布均勻,為光刻膠涂布等關(guān)鍵工藝提供穩(wěn)定環(huán)境!...
針對12英寸及以上大尺寸晶圓的制造需求,國瑞熱控大尺寸半導(dǎo)體加熱盤以創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)高效溫控!產(chǎn)品采用多模塊拼接式結(jié)構(gòu),單模塊加熱面積可達(dá)1500cm2,通過標(biāo)準(zhǔn)化接口可靈活組合成更大尺寸加熱系統(tǒng),適配不同產(chǎn)能的生產(chǎn)線需求!每個模塊配備**溫控單元,通過**控...
國瑞熱控不銹鋼加熱板針對腐蝕性工業(yè)環(huán)境設(shè)計,采用 316L 超級不銹鋼材質(zhì),具備極強(qiáng)的耐酸堿、耐鹽霧腐蝕性能,可在化工、半導(dǎo)體清洗等腐蝕性場景中長期使用。產(chǎn)品內(nèi)置高純度鎳鉻發(fā)熱絲,采用氧化鎂粉絕緣填充,經(jīng)高溫壓制而成,確保發(fā)熱均勻且絕緣可靠。其工作原理是發(fā)熱絲...
國瑞熱控不銹鋼加熱板針對腐蝕性工業(yè)環(huán)境設(shè)計,采用 316L 超級不銹鋼材質(zhì),具備極強(qiáng)的耐酸堿、耐鹽霧腐蝕性能,可在化工、半導(dǎo)體清洗等腐蝕性場景中長期使用。產(chǎn)品內(nèi)置高純度鎳鉻發(fā)熱絲,采用氧化鎂粉絕緣填充,經(jīng)高溫壓制而成,確保發(fā)熱均勻且絕緣可靠。其工作原理是發(fā)熱絲...
針對化學(xué)氣相沉積工藝的復(fù)雜反應(yīng)環(huán)境,國瑞熱控CVD電控加熱盤以多維技術(shù)創(chuàng)新**溫控難題!加熱盤內(nèi)置多區(qū)域**溫控模塊,可根據(jù)反應(yīng)腔不同區(qū)域需求實現(xiàn)差異化控溫,溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋室溫至600℃,滿足各類CVD反應(yīng)的溫度窗口要求!采用特種絕緣材料與密封結(jié)構(gòu)設(shè)計,能耐...
PTC加熱板是國瑞熱控的明星產(chǎn)品,其優(yōu)勢在于智能自限溫功能。PTC元件具有正溫度系數(shù)特性,當(dāng)溫度升至設(shè)定值,電阻自動增大,限制電流通過,實現(xiàn)自動限溫,無需額外溫控裝置,降低過熱風(fēng)險,保障使用安全。在節(jié)能方面,它根據(jù)實際需求調(diào)節(jié)功率,避免能源浪費(fèi)。而且,PTC加...
工業(yè)生產(chǎn)中 “恒溫 + 節(jié)能” 的雙重需求,國瑞熱控 PTC 加熱板給出比較好解。依托 22 年熱控技術(shù)沉淀,產(chǎn)品采用嵌入式 PID 智能算法,熱效率高達(dá) 95%,在塑料顆粒烘干、流體加熱等場景中,實際能耗較傳統(tǒng)方案降低 25%。其一體化封裝結(jié)構(gòu)具備優(yōu)異的抗振...
不規(guī)則曲面與小型設(shè)備的加熱難題,國瑞熱控硅膠加熱板以柔性優(yōu)勢完美解決。產(chǎn)品厚度只 0.8mm,柔韌性好,彎曲半徑 10mm,可緊密貼合管道、腔體等復(fù)雜表面,實現(xiàn)均勻加熱。其硅橡膠基質(zhì)嵌入碳纖維發(fā)熱體,熱效率達(dá) 95%,在 - 40℃至 200℃范圍內(nèi)穩(wěn)定工作,...
云母加熱板在高溫環(huán)境下展現(xiàn)出優(yōu)異性能。國瑞的云母加熱板選用質(zhì)量云母材料,具有出色的高溫穩(wěn)定性和絕緣性能。在高溫工作時,它能保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,不發(fā)生變形、開裂等問題,確保加熱過程安全可靠。其良好的絕緣性能有效防止電流泄漏,保障操作人員安全。云母加熱板適用于烤箱、烘干...
國瑞熱控云母加熱板以天然云母為絕緣重點,具備優(yōu)異的電氣絕緣性能與耐高溫特性,是高絕緣要求場景的經(jīng)濟(jì)實用之選。其工作原理是鎳鉻發(fā)熱絲通電后產(chǎn)生熱量,云母片作為絕緣與導(dǎo)熱介質(zhì),將熱量均勻傳遞至被加熱物體,同時有效隔離電流,防止漏電風(fēng)險。產(chǎn)品最高使用溫度可達(dá) 350...
大型工業(yè)設(shè)備的持續(xù)加熱需求,國瑞熱控不銹鋼加熱板以 “耐用 + 高效” 贏得市場。產(chǎn)品采用加厚不銹鋼外殼,抗沖擊強(qiáng)度≥2J,能承受設(shè)備運(yùn)行中的振動與碰撞,使用壽命長達(dá) 8 年以上。通過優(yōu)化加熱元件布局,升溫速度較傳統(tǒng)產(chǎn)品提升 30%,10 分鐘內(nèi)可升溫至 30...
針對半導(dǎo)體晶圓研磨后的應(yīng)力釋放需求,國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩(wěn)定!采用鋁合金基體與柔性導(dǎo)熱墊層復(fù)合結(jié)構(gòu),導(dǎo)熱墊層硬度ShoreA30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞!溫度調(diào)節(jié)范圍30℃-150℃,控溫精度±0.8℃,支持階梯式升...
陶瓷加熱板憑借高效導(dǎo)熱性能成為加熱領(lǐng)域的選擇。國瑞的陶瓷加熱板采用高純度陶瓷材料,熱導(dǎo)性好,能快速將電能轉(zhuǎn)化為熱能,實現(xiàn)快速升溫。其加熱均勻性出色,可使整個加熱面溫度一致,避免局部過熱或過冷,適用于對溫度均勻性要求高的半導(dǎo)體制造、電子元器件測試等領(lǐng)域。而且,陶...
國瑞熱控快速退火**加熱盤以高頻響應(yīng)特性適配RTP工藝需求,采用紅外輻射與電阻加熱復(fù)合技術(shù),升溫速率突破50℃/秒,可在數(shù)秒內(nèi)將晶圓加熱至1000℃以上!加熱盤選用低熱慣性的氮化鋁陶瓷材質(zhì),搭配多組**溫控模塊,通過PID閉環(huán)控制實現(xiàn)溫度快速調(diào)節(jié),降溫速率達(dá)3...
醫(yī)療設(shè)備與實驗室儀器的高精度加熱需求,國瑞熱控復(fù)合均溫加熱板完美匹配。產(chǎn)品采用石墨烯復(fù)合發(fā)熱材料,熱效率高達(dá) 98%,溫度均勻性 ±1℃,在 DNA 擴(kuò)增儀、質(zhì)譜儀等設(shè)備中,保障實驗數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與重復(fù)性。其超薄設(shè)計(厚度≤3mm)可嵌入式安裝,不影響設(shè)備整體結(jié)...
工業(yè)生產(chǎn)中 “恒溫 + 節(jié)能” 的雙重需求,國瑞熱控 PTC 加熱板給出比較好解。依托 22 年熱控技術(shù)沉淀,產(chǎn)品采用嵌入式 PID 智能算法,熱效率高達(dá) 95%,在塑料顆粒烘干、流體加熱等場景中,實際能耗較傳統(tǒng)方案降低 25%。其一體化封裝結(jié)構(gòu)具備優(yōu)異的抗振...
針對晶圓清洗后的烘干環(huán)節(jié),國瑞熱控**加熱盤以潔凈高效的特性適配嚴(yán)苛需求!產(chǎn)品采用高純不銹鋼基材,表面經(jīng)電解拋光與鈍化處理,粗糙度Ra小于0.2μm,減少水分子附著與雜質(zhì)殘留!加熱面采用蜂窩狀導(dǎo)熱結(jié)構(gòu),使熱量均勻分布,晶圓表面溫度差控制在±2℃以內(nèi),避免因局部...
PTC加熱板是國瑞熱控的明星產(chǎn)品,其優(yōu)勢在于智能自限溫功能。PTC元件具有正溫度系數(shù)特性,當(dāng)溫度升至設(shè)定值,電阻自動增大,限制電流通過,實現(xiàn)自動限溫,無需額外溫控裝置,降低過熱風(fēng)險,保障使用安全。在節(jié)能方面,它根據(jù)實際需求調(diào)節(jié)功率,避免能源浪費(fèi)。而且,PTC加...
在半導(dǎo)體芯片制造過程中,溫度控制的精度直接影響芯片的性能與良率。國瑞熱控半導(dǎo)體晶圓加熱盤依托 20 年電熱技術(shù)積淀,專為高級晶圓加工打造,采用先進(jìn)的溫度傳感技術(shù)與閉環(huán)控制算法,實現(xiàn) ±0.05℃的超高溫控精度。產(chǎn)品重要發(fā)熱層采用進(jìn)口耐高溫合金材料,經(jīng)特殊工藝處...
無錫市國瑞熱控 PTC 加熱板憑借正溫度系數(shù)重點技術(shù),實現(xiàn)精細(xì)恒溫與節(jié)能雙突破。其獨(dú)特的自限溫特性可在達(dá)到設(shè)定溫度后自動增大電阻,避免局部過熱,溫控精度達(dá) ±1℃,較傳統(tǒng)電阻式加熱板節(jié)能 30% 以上。產(chǎn)品采用品質(zhì)高陶瓷發(fā)熱體與鋁管復(fù)合結(jié)構(gòu),熱阻≤0.5℃/W...
高溫環(huán)境下的絕緣加熱需求,國瑞熱控云母加熱板性能優(yōu)異。產(chǎn)品采用耐高溫云母基板,在 500℃高溫下仍能保持良好的絕緣性能,絕緣電阻大于 100MΩ,適用于電機(jī)繞組加熱、變壓器干燥等場景。其發(fā)熱體采用抗氧化合金材質(zhì),使用壽命長達(dá) 8000 小時,經(jīng)過多次熱循環(huán)測試...
針對晶圓清洗后的烘干環(huán)節(jié),國瑞熱控**加熱盤以潔凈高效的特性適配嚴(yán)苛需求!產(chǎn)品采用高純不銹鋼基材,表面經(jīng)電解拋光與鈍化處理,粗糙度Ra小于0.2μm,減少水分子附著與雜質(zhì)殘留!加熱面采用蜂窩狀導(dǎo)熱結(jié)構(gòu),使熱量均勻分布,晶圓表面溫度差控制在±2℃以內(nèi),避免因局部...
無錫國瑞熱控PVD工藝**加熱盤,專為物***相沉積環(huán)節(jié)的嚴(yán)苛溫控需求設(shè)計!作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極,其采用陶瓷與高純金屬復(fù)合基材,經(jīng)精密研磨確保加熱面平面度誤差小于0.02mm,為薄膜均勻生長提供穩(wěn)定基底!內(nèi)部螺旋狀加熱元件與均溫層協(xié)同作用,使...
食品加工與制藥行業(yè)的潔凈加熱標(biāo)準(zhǔn),國瑞熱控不銹鋼加熱板全達(dá)標(biāo)。產(chǎn)品表面拋光處理精度達(dá) Ra≤0.8μm,無衛(wèi)生死角,符合 GMP 認(rèn)證要求,可直接接觸食品原料與藥品中間體。其加熱元件采用耐高溫合金材質(zhì),工作溫度可達(dá) 450℃,表面負(fù)荷 2.5-4.5W/cm2...
國瑞熱控防爆型 PTC 加熱板專為易燃易爆環(huán)境設(shè)計,采用隔爆型結(jié)構(gòu)設(shè)計與本質(zhì)安全型 PTC 元件,從源頭杜絕點火風(fēng)險,已通過 EX 防爆認(rèn)證,可應(yīng)用于化工、油氣等危險環(huán)境。其工作原理是 PTC 元件的自限溫特性避免了過熱現(xiàn)象,同時外殼采用強(qiáng)度高的鋁合金材質(zhì),具...
針對等離子體刻蝕環(huán)境的特殊性,國瑞熱控配套加熱盤采用藍(lán)寶石覆層與氮化鋁基底的復(fù)合結(jié)構(gòu),表面硬度達(dá)莫氏9級,可耐受等離子體長期轟擊而無材料脫落!加熱盤內(nèi)部嵌入鉬制加熱絲,經(jīng)后嵌工藝固定,避免高溫下電極氧化影響加熱性能,工作溫度范圍覆蓋室溫至500℃,控溫精度±1...
國瑞熱控針對半導(dǎo)體量子點制備需求,開發(fā)**加熱盤適配膠體化學(xué)合成工藝!采用聚四氟乙烯密封腔體與不銹鋼加熱基體復(fù)合結(jié)構(gòu),耐有機(jī)溶劑腐蝕,且無金屬離子溶出污染量子點溶液!內(nèi)置高精度溫度傳感器,測溫精度達(dá)±0.1℃,溫度調(diào)節(jié)范圍25℃-300℃,支持0.1℃/分鐘的...
PTC加熱板是國瑞熱控的明星產(chǎn)品,其優(yōu)勢在于智能自限溫功能。PTC元件具有正溫度系數(shù)特性,當(dāng)溫度升至設(shè)定值,電阻自動增大,限制電流通過,實現(xiàn)自動限溫,無需額外溫控裝置,降低過熱風(fēng)險,保障使用安全。在節(jié)能方面,它根據(jù)實際需求調(diào)節(jié)功率,避免能源浪費(fèi)。而且,PTC加...
食品加工與制藥行業(yè)的潔凈加熱標(biāo)準(zhǔn),國瑞熱控不銹鋼加熱板全達(dá)標(biāo)。產(chǎn)品表面拋光處理精度達(dá) Ra≤0.8μm,無衛(wèi)生死角,符合 GMP 認(rèn)證要求,可直接接觸食品原料與藥品中間體。其加熱元件采用耐高溫合金材質(zhì),工作溫度可達(dá) 450℃,表面負(fù)荷 2.5-4.5W/cm2...